干式真空泵的極限真空度能達(dá)到多少

來源：深圳市京都玉崎電子有限公司 2026年06月05日 11:31

干式真空泵極限真空（Pa，絕對壓強(qiáng)，荏原全系半導(dǎo)體機(jī)型實(shí)測標(biāo)準(zhǔn)）

單位換算：

實(shí)驗(yàn)室、電鍍機(jī)、SEM 設(shè)備標(biāo)配。

EV?M102/202/302：1～5 Pa，大抽速、水冷，側(cè)重工藝動態(tài)抽氣，不追求超高極限真空。

EST 全系列（200/300/500WN 防腐款）：0.3～0.5 Pa，荏原最高真空量產(chǎn)干泵；

ESA 大流量螺桿：0.5～3 Pa，大腔體量產(chǎn)線使用。

普通單級螺桿：3～15 Pa；簡易單級爪泵：10～50 Pa。

干泵單獨(dú)使用：工藝腔體穩(wěn)定工作壓力（刻蝕、PECVD 粗真空）；
干泵做前級 + 分子泵：腔體可達(dá) （PVD 濺射、ALD、離子注入高真空），干泵只負(fù)責(zé)預(yù)抽、分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空。

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