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NMP(甲基吡咯烷酮)液體顆粒測試標準
NMP(甲基吡咯烷酮)液體顆粒測試標準
NMP 液體顆粒測試核心遵循GB/T 46380-2025(電子級 NMP 國標),參考ISO 11171、ASTM D5756,適用于半導體、鋰電池用電子級 NMP 顆粒度管控。

一、核心指標(電子級)
粒徑≥0.2μm:≤200 個 /mL
粒徑≥0.3μm:≤65 個 /mL
粒徑≥0.5μm:≤15 個 /mL(制程≤10 個 /mL)
二、測試方法
取樣:在線動態(tài)無菌取樣,每次 50mL,連續(xù) 3 次,避免沉降誤差。
檢測:激光 / 光阻法顆粒計數(shù)器,量程 0.1–10μm,符合 ISO 11171,每樣測 2 次取均值。
空白對照:同批次高純 NMP 做空白,排除污染干擾。
三、分級與應用
EL 級:≥0.5μm≤100 個 /mL(工業(yè)通用)
UP 級:≥0.5μm≤15 個 /mL(半導體 / 鋰電池)
UP-S 級:≥0.5μm≤5 個 /mL(先進制程)
四、注意事項
測試環(huán)境需ISO 7 級及以上潔凈室,器具無顆粒污染;數(shù)據(jù)超差需復檢,以兩次合格結(jié)果為準。
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