KOTOHIRA 琴平 KTV-CR1-SUS|半導(dǎo)體潔凈室的微塵克星
在半導(dǎo)體制造中,ISO 4 級(jí)(10 級(jí))潔凈室的微塵控制直接決定晶圓良率與芯片品質(zhì)。日本琴平(KOTOHIRA)KTV-CR1-SUS 落地式吸塵器,專為半導(dǎo)體高潔凈場(chǎng)景打造,以高等級(jí)精密過(guò)濾、全密封防泄漏、防靜電抗干擾、易維護(hù)長(zhǎng)壽命四大核心優(yōu)勢(shì),成為光刻、切割、封裝等工序的常用清潔設(shè)備,護(hù)航半導(dǎo)體生產(chǎn)、嚴(yán)控粉塵污染。

? ULPA 三層過(guò)濾,0.12μm 微塵 99.999% 攔截
半導(dǎo)體車間的硅屑、焊錫殘?jiān)?、氣溶膠等微塵,極易導(dǎo)致電路短路、晶圓劃傷。KTV-CR1-SUS 采用一次性濾袋(7.6L)→布過(guò)濾器→ULPA 終端過(guò)濾的三層遞進(jìn)結(jié)構(gòu),對(duì) 0.12μm 及以上顆粒物過(guò)濾效率達(dá) 99.999%。無(wú)論是細(xì)微粉塵還是氣溶膠,均能精準(zhǔn)攔截,排氣潔凈度符合 ISO 4 級(jí)標(biāo)準(zhǔn),從根源減少二次污染,守護(hù)晶圓與精密元件安全。
??? 全 SUS304 不銹鋼 + 密封結(jié)構(gòu),適配嚴(yán)苛潔凈環(huán)境
整機(jī)采用SUS304 不銹鋼機(jī)身,耐腐蝕、低析出、易擦拭滅菌,無(wú)衛(wèi)生死角,符合 GMP 與 ASTM E595 釋氣要求,長(zhǎng)期使用不易變形、掉漆,減少粉塵殘留與堆積。全密封一體式設(shè)計(jì),出廠前經(jīng)過(guò)嚴(yán)格氣溶膠泄漏檢測(cè),吸塵過(guò)程有效防止粉塵外逸,改善傳統(tǒng)設(shè)備排氣帶塵問(wèn)題,保障潔凈室環(huán)境穩(wěn)定。
? 防靜電 + EMI 屏蔽,不干擾精密芯片與儀器
半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)靜電與電磁干擾極度敏感。KTV-CR1-SUS整機(jī)防靜電接地,表面電阻≤10?Ω,符合 IEC 61340-5-1 標(biāo)準(zhǔn),有效抑制靜電放電,規(guī)避芯片受損風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)搭載EMI/RFI 電磁屏蔽,運(yùn)行時(shí)不干擾光刻機(jī)、檢測(cè)設(shè)備等精密儀器,確保生產(chǎn)過(guò)程穩(wěn)定,降低產(chǎn)品不良率。
?? 緊湊低噪 + 高效易維護(hù),適配 24 小時(shí)連續(xù)作業(yè)
機(jī)身尺寸 410×410×560mm,凈重僅 9kg,搭配腳輪設(shè)計(jì),可靈活穿梭于設(shè)備縫隙、車間角落,狹小空間作業(yè)無(wú)壓力。690W 低功耗,吸力達(dá) 20.5kPa,風(fēng)量 2.3m3/min,兼顧高效與節(jié)能;2 米處噪音≤60dB (A),運(yùn)行安靜,不影響精密作業(yè)。7.6L 大容量一次性濾袋,更換便捷無(wú)污染,無(wú)需頻繁維護(hù),適配半導(dǎo)體產(chǎn)線 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行,減少綜合運(yùn)維成本。
?? 半導(dǎo)體全場(chǎng)景適配,筑牢潔凈生產(chǎn)防線
? 光刻區(qū) / 晶圓切割:清除硅粉、微粒,減少光刻缺陷與晶圓劃痕;
? 封裝 / 測(cè)試工位:吸附焊錫殘?jiān)?、粉塵,保障引腳清潔與測(cè)試精準(zhǔn);
? 潔凈室日常維護(hù):高效清理地面、設(shè)備表面微塵,維持 ISO 4 級(jí)潔凈度;
? 精密電子 / 芯片車間:適配高潔凈度要求,守護(hù)微小元件生產(chǎn)安全。
從高等級(jí)精密過(guò)濾防微塵到密封防靜電保障生產(chǎn),從低噪節(jié)能穩(wěn)運(yùn)行到便捷維護(hù)降成本,KOTOHIRA 琴平 KTV-CR1-SUS 以扎實(shí)性能,滿足半導(dǎo)體行業(yè)超高潔凈標(biāo)準(zhǔn),是潔凈室除塵的優(yōu)質(zhì)選擇,助力企業(yè)提質(zhì)增效、綠色生產(chǎn)。
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