英福康四大“追光利器”登場!從氦檢到質(zhì)譜,助您攻克光伏量產(chǎn)難題
氦氣檢漏:
又快又準(zhǔn),漏點無處藏
太陽能電池技術(shù)飛速發(fā)展,但設(shè)備泄漏成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD為例,泄漏會導(dǎo)致反應(yīng)腔氣體成分和壓力失控,在HJT電池制造中會造成非晶硅鈍化層生長不均,導(dǎo)致開路電壓和填充因子下降,光電轉(zhuǎn)換效率大幅降低。
UL6000 Fab 移動式氦氣檢漏儀

專為大型工藝工具設(shè)計,搭載英福康 I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機(jī)身可靈活穿梭于復(fù)雜產(chǎn)線,在所有測量范圍內(nèi)都能實現(xiàn)行業(yè)**的響應(yīng)速度,讓泄漏檢測既準(zhǔn)確又高效。
SMART-Spray 無線氦氣噴槍

告別軟管束縛和手動流量調(diào)節(jié)。無線自由,操作靈活,即使在狹窄的潔凈室空間內(nèi)也能精準(zhǔn)定位漏點。兼容全系列 UL 檢漏儀,是 UL6000 Fab 的*佳搭檔。

薄膜沉積控制:
鈣鈦礦共沉積的“精算師”
鈣鈦礦太陽能電池的大規(guī)模制造,極度依賴納米級超薄膜層和共沉積技術(shù)。
Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應(yīng)運而生:

可同時控制多達(dá)六個材料源,滿足復(fù)雜共沉積工藝需求;
Auto-Z™ 功能實時計算未知材料的 Z 比值,無需再依賴猜測;
在超低沉積速率下仍能提供穩(wěn)定、實時的數(shù)據(jù)反饋;
支持從實驗室順利過渡到量產(chǎn)設(shè)備,保障產(chǎn)品一致性。
真空計系列:
全量程覆蓋,精準(zhǔn)掌控每一道壓力
從大氣壓到超高真空,英福康真空計為光伏制造全流程提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
CDG020D
電容式壓力計
氧化鋁陶瓷傳感器,結(jié)構(gòu)緊湊,不受氣體類型影響;


CDG025D
電容式壓力計
防腐蝕陶瓷傳感器,零點穩(wěn)定性出色,可承受數(shù)百萬次壓力循環(huán);
PSG500
皮拉尼真空計
數(shù)字 Pirani 技術(shù),不銹鋼傳感器堅固耐用;


BAG552
熱電離真空計
Bayard-Alpert 測量系統(tǒng),雙燈絲設(shè)計,精度、重復(fù)性與壽命俱佳。
無論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發(fā)鍍膜,都能在這里找到適合的那一款真空計。
殘余氣體分析儀:
ppm 級監(jiān)測,為真空腔體筑牢防線
在高效電池的制造過程中,腔體內(nèi)微量的污染氣體或空氣泄漏,都可能引發(fā)批次性良率下降,甚至導(dǎo)致整爐產(chǎn)品報廢。及時發(fā)現(xiàn)并控制這些“隱形威脅”,是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵。
Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀:可在 20 mTorr 高壓環(huán)境下直接工作,70eV 電子轟擊電離生成獨特的質(zhì)譜峰分布??諝饴c、氣體純度、碳?xì)浠衔镂廴尽獙崟r捕捉,快速響應(yīng)。

Transpector® MPH 則支持多氣體并行監(jiān)測,廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場景,穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。

從 PECVD 到 PVD,RGA 技術(shù)正以 ppm 級精度構(gòu)建全鏈條質(zhì)量保障體系。
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