日本現(xiàn)貨ULVAC愛發(fā)科低溫冷凍柜RM80T的應(yīng)用

核心產(chǎn)品線?

ULVAC的產(chǎn)品體系覆蓋真空系統(tǒng)全鏈條，主要分為四大類：

?1. 真空泵與真空系統(tǒng)?

?2. 薄膜沉積與鍍膜設(shè)備?

• ?磁控濺射系統(tǒng)?：

• ?ENTRON-EXX?：多腔體集群式PVD系統(tǒng)，支持多12個(gè)模塊靈活組合，用于Micro-OLED、先進(jìn)封裝的金屬化工藝。

• ?SME、SRH、SMV系列?：適用于半導(dǎo)體晶圓、PCB互連層、光學(xué)薄膜的高精度濺射。

• ?熱蒸發(fā)系統(tǒng)?：用于有機(jī)材料（如OLED發(fā)光層）的高純度蒸鍍。

• ?CVD/ALD系統(tǒng)?：提供薄膜均勻性控制，滿足2.5D/3D封裝需求。

?3. 等離子體處理設(shè)備?

• ?灰化/去膠系統(tǒng)?：

• ?Luminous NA系列?：無晶圓尺寸限制，專用于先進(jìn)封裝中光刻膠殘留，支持晶圓與面板（大600mm）處理。

• ?ENVIRO Optima?：高 ash rate（>12 µ/min），適用于HDI、TSV等高密度互連結(jié)構(gòu)。

• ?等離子體刻蝕與清洗?：用于半導(dǎo)體前道工藝中的表面活化與污染物去除。

?4. 高純靶材與材料?

• ?產(chǎn)品類型?：高純度Cu、Al、Mo、Ti、Ta、Nb、Zr及其合金靶材。

• ?應(yīng)用領(lǐng)域?：

• 液晶面板（FPD）

• 太陽能電池（CIGS、PERC）

• 半導(dǎo)體互連層（Cu damascene）

?主要應(yīng)用領(lǐng)域?