簡(jiǎn)單的辦法是在爐膛冷態(tài)、空裁時(shí)做真空泄漏率測(cè)試。抽到目標(biāo)真空后關(guān)閥觀察壓力變化，如果壓力基本是勻速、直線上升，通常說明有泄漏。如果一開始上升快，后面慢慢變緩，多半是放氣（outgassing）。也可以做一次充干燥氮?dú)庠俪榈膶?duì)比，如果抽真空明顯變輕松了，說明原來主要是水汽或污染在作怪。如果沒什么變化，更可能是漏氣。下圖就是典型的真空泄漏率測(cè)試后的結(jié)果曲線。

藍(lán)色曲線為爐膛內(nèi)的真空度變化值。當(dāng)真空泵關(guān)閉后，爐膛內(nèi)壓力出現(xiàn)了一小段快速回升，這就是放氣（outgassing）現(xiàn)象。隨后真空度數(shù)值趨于穩(wěn)定，橙色為等效后的趨勢(shì)曲線?？梢娬婵斩茸兓^程是比較平穩(wěn)的，從曲線始終處于10E-2mbar范圍內(nèi)。如果是泄漏的話，曲線的斜率會(huì)明顯陡很多。

所以在做真空泄漏率檢測(cè)時(shí)，操作方法也會(huì)直接影響判斷結(jié)果。為了盡量排除放氣的干擾，建議在關(guān)閉真空泵后先靜置約30分鐘，讓系統(tǒng)內(nèi)部的初始放氣過程基本穩(wěn)定下來，再開始正式記錄壓力數(shù)據(jù)。同時(shí)，檢測(cè)時(shí)間應(yīng)盡量拉長(zhǎng)，通常不少于10小時(shí)，這樣才能更清楚地看出壓力變化的趨勢(shì)，是持續(xù)線性上升還是逐漸趨緩。日常用的時(shí)候，這個(gè)測(cè)試其實(shí)很好安排?？梢栽谙掳嗲鞍褭z測(cè)運(yùn)行起來。第二天上班再看真空度的變化情況就行。既不耽誤第二天的實(shí)驗(yàn)，也能拿到更有參考價(jià)值的數(shù)據(jù)。

總結(jié)來說，判斷真空問題別只盯著數(shù)值，更要看變化的“走勢(shì)”和測(cè)試條件。通過保壓曲線、充氣對(duì)比、溫度變化這些方法，通常就能分清是泄漏還是放氣。另外，從設(shè)備設(shè)計(jì)角度看也有差異。例如卡博萊特的真空系統(tǒng)，通過工藝內(nèi)腔引導(dǎo)揮發(fā)物定向從廢氣出口排出爐膛，避免在爐內(nèi)擴(kuò)散和二次沉積，從而減少對(duì)加熱元件和保溫材料的污染。這種方式在實(shí)際使用中有助于減緩真空度以及泄漏率變差的問題。