一、產(chǎn)品概述

ULVAC愛發(fā)科CR300B是一款多級羅茨型干式真空泵，為CR系列Ver.B中的大抽速型號，在國際標準認證、運行經(jīng)濟性和結構可靠性等方面均有全面考量。該泵獲得CE、cTUVus國際標準認證，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析儀器以及一般工業(yè)設備等眾多領域。

CR300B的設計定位介于中高真空需求場景，在實現(xiàn)300 m3/h大抽速的同時，維持了優(yōu)異的極限真空性能和無油潔凈運行能力。作為空冷式羅茨型干泵，該型號面向需要高吞吐率、低運行成本和潔凈真空環(huán)境的各類工業(yè)與科研應用。

二、多級羅茨工作原理

多級羅茨型干泵的核心構造是在稱為殼體的箱體內(nèi)配置兩支具有三葉截面形狀的轉子，轉子通過一對齒輪驅(qū)動，以相同頻率沿相反方向旋轉。轉子之間以及轉子與殼體之間保持微小間隙，不直接接觸，依靠轉子旋轉過程中容積的周期性變化實現(xiàn)氣體的吸入、輸送和壓縮。

CR300B的多級結構指的是轉子沿軸向串聯(lián)了多個壓縮級，各級之間通過級間流道實現(xiàn)氣體連通。氣體從進氣口被第一級轉子吸入后，逐級向后傳遞并在每一級中被進一步壓縮，最終從排氣口排出。這一多級壓縮機制使得泵在大氣壓力下即可直接啟動，無需額外的前級泵輔助，能夠在全壓力范圍內(nèi)穩(wěn)定運行。

在密封方面，CR300B的軸承和齒輪等旋轉部件使用專用潤滑油進行潤滑，但通過精密密封件嚴格隔離，確保泵體排氣室內(nèi)不接觸真空油。轉子與氣缸之間為無接觸運行，從結構層面真空油的返流和油霧污染問題，所形成的真空環(huán)境清潔無油，滿足精密制造工藝對真空潔凈度的嚴苛要求。

三、核心性能與規(guī)格參數(shù)

CR300B的主要技術參數(shù)如下：

在CR系列產(chǎn)品線中，CR300B是抽速最大的型號，CR16B（16 m3/h）至CR60B（55 m3/h）覆蓋了較小抽速范圍的應用需求，CR300B則以300 m3/h的大抽速面向中高吞吐率的工業(yè)場景。

四、核心特點與技術優(yōu)勢

4.1 無油非接觸運行

CR300B的排氣室內(nèi)不使用真空油，轉子與氣缸之間為無接觸運行狀態(tài)。這一結構特性消除了摩擦部件的機械磨損因素，大幅延長了泵的使用壽命；同時從根本上杜絕了真空油返流和油霧排放問題，所獲得的真空環(huán)境潔凈無油，特別適用于對顆粒污染和有機揮發(fā)物敏感的高制造工藝。

4.2 空冷設計，無需冷卻水和氮氣

CR300B采用空冷散熱設計，無需配置冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。相較于需要冷卻水支持的傳統(tǒng)真空泵，該設計免去了冷卻水配管安裝、水質(zhì)管理和設備維護等一系列工作，顯著降低了安裝成本和運營支出。同時，該泵無需軸封氮氣等輔助氣體，進一步簡化了運行條件，尤其適合冷卻水供應不便或希望最大限度降低公用工程依賴的場所。

4.3 大抽速規(guī)格，兼顧緊湊型設計

CR300B以300 m3/h的大抽速在中速干泵產(chǎn)品中具備突出的抽氣能力，適用于需要快速排氣的工藝場景，如濺射鍍膜前的快速腔室抽空、裝載/卸載腔間的快速工藝周轉等。盡管抽速顯著，該型號仍維持了緊湊的機身尺寸，在批量生產(chǎn)型真空設備的集成空間中具有良好的適配性。

4.4 DC密封電機帶來的節(jié)能與減重

CR300B搭載了DC密封電機，該電機具有低功耗、高氣密性和輕量化的特點。DC密封電機的驅(qū)動效率較傳統(tǒng)電機有所提升，無需額外的軸封結構即可保持電機側的氣密性，同時電機的輕量化設計對整機重量的降低亦有貢獻。

4.5 氣鎮(zhèn)機構支持水分處理

CR300B可選配氣鎮(zhèn)閥（Gas Ballast）機構（針閥或電磁閥+針閥形式），引入適量干燥氣體進入泵腔，防止水蒸氣在壓縮過程中凝結。在使用氣鎮(zhèn)機構時，泵的最大水蒸氣處理量可達500 g/h，顯著提升了對含水蒸氣工藝環(huán)境的適應能力，特別適用于真空干燥等需大量排水的應用場景。

4.6 CE/cTUVus國際標準認證

CR300B通過了CE和cTUVus兩項國際安全與合規(guī)性認證，這是該泵可在全球范圍內(nèi)推廣和應用的關鍵資質(zhì)保障。CE認證確保了泵在歐盟市場的合規(guī)性，cTUVus認證則確認了泵符合北美（美國/加拿大）安全標準，無需在出口至不同地區(qū)時進行特殊版本調(diào)整。

4.7 適配ECO-SHOCK節(jié)能裝置

CR300B可選配ECO-SHOCK節(jié)能附件，該裝置安裝于干泵的排氣線路上，可在不影響抽氣速度和真空性能的前提下大幅降低功耗。根據(jù)ULVAC發(fā)布的數(shù)據(jù)，ECO-SHOCK可使干泵的電力消耗最大減少80%（與公司常規(guī)產(chǎn)品相比），并同時抑制泵的發(fā)熱量，間接降低空調(diào)設備的電力消耗。這一節(jié)能特性對于需要長時間連續(xù)運行或頻繁啟停的工藝設備而言具有顯著的經(jīng)濟效益和低碳價值。

五、主要應用領域

CR300B的應用覆蓋從高潔凈度制造到一般工業(yè)的多種場景，典型應用包括：

真空鍍膜設備：CR300B作為濺射鍍膜（Sputtering）、蒸鍍（Evaporation）等PVD工藝設備的核心真空泵組應用，滿足真空鍍膜工藝對高清潔度及快速排氣能力的雙重需求。

半導體制造工藝：抽取空氣、惰性氣體（氮氣、氬氣等）等潔凈氣體的真空排氣應用。在半導體制造設備中，CR300B作為干泵于刻蝕、沉積或裝載/卸載腔等工序中提供清潔、無油的真空環(huán)境。

真空干燥設備：CR300B的氣鎮(zhèn)機構專為真空干燥中的水蒸氣排氣任務設計。在使用氣鎮(zhèn)條件下，該泵可穩(wěn)定排出工藝過程中的水分，適用于食品、制藥及電子元器件等行業(yè)的真空干燥設備。

裝載/卸載腔抽空：CR300B的大抽速特性使其特別適合頻繁需要在真空與大氣之間切換的裝載/卸載腔等場合。在此類應用中，快速抽空能力直接影響設備的整體工藝吞吐量。

電子元器件制造：FPD（平板顯示器）制造、電子元器件生產(chǎn)等對真空潔凈度要求嚴格的工藝環(huán)節(jié)中，CR300B的無油運行可有效避免顆粒和油霧污染。

大學與研究機構：為實驗室真空系統(tǒng)、新材料研究工藝設備等提供穩(wěn)定可靠的清潔真空，其無油設計可保證科研結果不受泵源污染的干擾。

六、使用注意事項

為保證CR300B的正常運行和使用壽命，在實際應用中需注意以下幾點：

禁止抽除腐蝕性或有害氣體：CR300B主要適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，禁止抽吸爆炸性氣體、氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體和有機溶劑。尤其需要注意的是，ECO-SHOCK節(jié)能裝置不得用于抽除腐蝕性、易燃或有毒氣體的泵。

水蒸氣排氣需配置氣鎮(zhèn)機構：當工藝環(huán)境中存在水蒸氣且需要排出水分時，必須使用氣鎮(zhèn)機構。最大水蒸氣處理量（<500 g/h）是在使用氣鎮(zhèn)時的測量值，在無水鎮(zhèn)氣條件下直接抽除大量水分可能導致水蒸氣在泵內(nèi)凝結，影響泵的性能和可靠性。

電源規(guī)格訂購時需明確：CR300B僅支持三相200V電源，訂購時請注明所需相位和電壓。CR系列其他型號（如CR16B）支持多種電源規(guī)格，但CR300B電源選擇較為固定，須在訂購時向供應商清晰說明。

室內(nèi)使用，注意環(huán)境溫度：CR300B為室內(nèi)使用設備，不得安裝于室外或可能遭受雨淋、浸水等惡劣環(huán)境的位置。使用環(huán)境溫度應維持在5～40℃的推薦范圍內(nèi)，超出此范圍可能影響泵的運行性能和壽命。

七、總結

ULVAC愛發(fā)科CR300B多級羅茨型干泵的定位介于中高速干泵市場，以300 m3/h大抽速、≤0.5 Pa極限壓力、無油運行及空冷設計的綜合性能，在真空鍍膜、半導體制造和真空干燥等關鍵工業(yè)領域?qū)崿F(xiàn)了高效部署。該泵適配ECO-SHOCK節(jié)能裝置的功能進一步提升了其運行的經(jīng)濟效益與低碳價值，是低運行成本、高可靠性干式真空解決方案的理想選擇。