需要對(duì)其新型薄膜產(chǎn)品進(jìn)行關(guān)鍵電學(xué)性能測(cè)試：測(cè)試薄膜產(chǎn)品的體積電阻率、表面電阻。

（二）測(cè)試要求

● 檢測(cè)項(xiàng)目：體積電阻率、表面電阻

● 樣品規(guī)格：10μm/14μm/40μm薄膜

（三）解決方案

針對(duì)客戶超薄薄膜材料的電學(xué)性能檢測(cè)需求，需完成體積電阻率（ρv）及表面電阻（Rs）兩項(xiàng)核心指標(biāo)測(cè)試。

1.體積電阻率（ρv）作為表征材料整體絕緣性能的核心參數(shù)，其數(shù)值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當(dāng)測(cè)試超薄樣品時(shí)，需要使用大電極均勻加壓，避免局部擊穿。

2.表面電阻（Rs）作為表征材料表面導(dǎo)電特性的核心參數(shù)，其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級(jí)薄膜材料測(cè)試中，易引發(fā)因電極接觸不良導(dǎo)致的數(shù)據(jù)波動(dòng)。

為兼顧測(cè)試精度與效率，推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)+TH26090表面電阻率/體電阻率測(cè)試夾具的組合方案，其核心優(yōu)勢(shì)如下：

單機(jī)全功能

TH2690系列通過高度集成化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了"單機(jī)全功能測(cè)試"，擺脫對(duì)上位機(jī)的依賴，為微弱信號(hào)測(cè)量帶來革命性便捷體驗(yàn)。

0.01fA電流分辨率

TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10^-17A)，可滿足大部分場(chǎng)景的微弱電流測(cè)量需求，大大解決薄膜材料信號(hào)漂移問題。

數(shù)據(jù)分析處理能力

TH2690系列內(nèi)置±1000V電壓源，支持1mV步進(jìn)式精密調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)從1V到1000V寬范圍電壓的精確施加與動(dòng)態(tài)控制，滿足高阻材料測(cè)試的電壓精度要求。