1. 掃描電子顯微鏡測(cè)量樣品制備

掃描電子顯微鏡可以測(cè)量各種樣品，但有些樣品可能需要適當(dāng)?shù)臉悠窚?zhǔn)備和測(cè)量條件。

絕緣樣品 使用
絕緣樣品時(shí)，樣品表面可能因電子束照射而帶電。 當(dāng)發(fā)生靜電荷時(shí)，圖像會(huì)被擾動(dòng)或觀察到異常對(duì)比度，因此可能無(wú)法獲得準(zhǔn)確的圖像數(shù)據(jù)。 為防止電氣化，需要采取薄濺射和金屬涂層、低加速電壓觀測(cè)以及低真空觀測(cè)等措施。

在高真空條件下蒸發(fā)或升華的樣品 在
高真空條件下的蒸發(fā)和升華不僅改變樣品的結(jié)構(gòu)和形狀，還可能導(dǎo)致設(shè)備故障。 為防止這種情況，采取低真空測(cè)量等措施是有效的。 此外，含有大量水分的生物樣本即使在低真空下也常需單獨(dú)預(yù)處理。

磁性樣品 使用
磁性樣品時(shí)，如果電子透鏡與樣品距離較近，樣品會(huì)被磁化，調(diào)整電子束變得困難，大樣本可能會(huì)從樣品臺(tái)上脫落并粘附在透鏡區(qū)域。 為防止此問(wèn)題，樣品和透鏡必須用螺絲或膠粘劑使用掃描電子顯微鏡（如透鏡外法）固定。

如果你想觀察樣品內(nèi)部，如果想在不使用下文描述
的透射模式的情況下觀察樣品內(nèi)部，就必須使用聚焦離子束（FIB）處理樣品并觀察截面。

2. 安裝在掃描電子顯微鏡中的主分析儀

當(dāng)加速電子束被照射到樣品時(shí)，可以獲得透射電子、X射線(xiàn)、陰極發(fā)光和吸收電子等信號(hào)，同時(shí)還能獲得次級(jí)電子和反散射電子。 可能會(huì)安裝分析儀來(lái)檢測(cè)這些信號(hào)。

透射電子當(dāng)樣品
厚度足夠薄，或在細(xì)顆粒等材料中，部分被照射的電子可以被檢測(cè)為透射電子。 它通常通過(guò)單獨(dú)的測(cè)量設(shè)備測(cè)量，如透射電子顯微鏡或掃描透射電子顯微鏡（STEM），但有時(shí)會(huì)以透射模式安裝在掃描電子顯微鏡中。 可以觀察掃描電子顯微鏡不擅長(zhǎng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

X射線(xiàn)當(dāng)
電子射線(xiàn)照射到原子時(shí)，除了電子射線(xiàn)外，還可能發(fā)射X射線(xiàn)。 由于每個(gè)原子具有獨(dú)特的能量，通過(guò)探測(cè)發(fā)射的X射線(xiàn)可以識(shí)別樣品表面存在的原子類(lèi)型。

佩戴并測(cè)量X射線(xiàn)探測(cè)器時(shí)，不僅會(huì)對(duì)樣品表面原子的組成進(jìn)行分析，還會(huì)對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行元素映射，以顯示樣品中哪些原子存在。 X射線(xiàn)探測(cè)器有兩種類(lèi)型：能量色散X射線(xiàn)探測(cè)器（EDS）和波長(zhǎng)色散X射線(xiàn)探測(cè)器（WDS），每種探測(cè)器具有不同的特性，應(yīng)根據(jù)用途選擇。

陰極發(fā)光
陰極發(fā)光是指當(dāng)電子束照射到樣品時(shí)發(fā)出的光，通過(guò)探測(cè)它可以測(cè)量樣品的晶體性質(zhì)，如晶體缺陷、雜質(zhì)和載流子濃度。

你可以通過(guò)添加其他選項(xiàng)來(lái)添加各種功能。 與使用單獨(dú)測(cè)量設(shè)備相比，其優(yōu)點(diǎn)是可以在觀察掃描電子顯微鏡圖像時(shí)選擇測(cè)量位置，從而實(shí)現(xiàn)更詳細(xì)的測(cè)量。