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日本NKS長(zhǎng)野半導(dǎo)體制造高溫壓力監(jiān)測(cè) ZT17_200°C技術(shù)參數(shù)
ZT17_200°C半導(dǎo)體行業(yè)的高溫壓力傳感器
測(cè)量最高可達(dá)200°C！
半導(dǎo)體制造工藝高溫應(yīng)用的壓力傳感器
半導(dǎo)體制造工藝高溫應(yīng)用的壓力傳感器
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： 
特色
●200°C
高溫測(cè)量 ●高溫測(cè)量
高精度 ●結(jié)構(gòu)安全可靠，無(wú)需封裝材料
●與專(zhuān)用放大器配合使用
高溫測(cè)量 ●高溫測(cè)量
高精度 ●結(jié)構(gòu)安全可靠，無(wú)需封裝材料
●與專(zhuān)用放大器配合使用
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 扳手形狀 | 撒手形狀：S 形；接續(xù)螺紋：1/4VCR® 對(duì)應(yīng)、1/4JIS® |
| 接續(xù)ねじ | T 形一體：接續(xù)螺紋：1/4VCR® 對(duì)應(yīng)、1/2 (3/8) VCR® 對(duì)應(yīng) |
| 壓力傳感器方式 | 焊接式 |
| 壓力量程 | 0~0.3、0.5、1、2、3.5、5、10、20MPa |
| 供電電壓 | 10~30V DC |
| 輸出 | ※4~20mA DC 輸出的場(chǎng)合、電源電壓與負(fù)荷電阻的關(guān)系請(qǐng)參照下述公式。4~20mA DC 兩線(xiàn)制，或 1~5V DC 三線(xiàn)制 |
| 負(fù)載電阻 | ※4~20mA DC 輸出場(chǎng)合：最大負(fù)載電阻 R max (Ω)=50×E=500 (E)（E 為電源電壓）※1~5V DC 輸出場(chǎng)合：最小 10kΩ |
| 精度（配專(zhuān)用放大器） | ±0.5% 滿(mǎn)量程（23℃條件下，包含線(xiàn)性、遲滯、重復(fù)性誤差） |
| 溫度特性（溫度補(bǔ)償范圍） | 量程：±1.0% 滿(mǎn)量程（15~20℃）量程：±3.0% 滿(mǎn)量程（15~200℃） |
| 使用溫度范圍 | 壓力傳感器：-20~200℃（無(wú)結(jié)冰、結(jié)露狀態(tài)）※專(zhuān)用放大器連接連接器環(huán)境：-20~50℃專(zhuān)用放大器：-20~50℃（無(wú)結(jié)冰、結(jié)露狀態(tài)） |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | 壓力傳感器：-20~200℃（無(wú)結(jié)冰、結(jié)露狀態(tài)）※專(zhuān)用放大器連接連接器環(huán)境：-20~60℃專(zhuān)用放大器：-20~60℃（無(wú)結(jié)冰、結(jié)露狀態(tài)） |
| 絕緣電阻 | 100MΩ 以上（殼體～輸入輸出端子間，50V DC 測(cè)試電壓） |
| 外殼材質(zhì) | 壓力傳感器：SUS304 不銹鋼專(zhuān)用放大器：鋁合金（陽(yáng)極氧化處理）、ABS 工程塑料 |
| CE/UKCA 認(rèn)證 | EMC、RoHS※請(qǐng)連接至不受雷擊浪涌及電源系統(tǒng)開(kāi)關(guān)瞬變影響的室內(nèi)配電回路使用 |
| 重量 | 壓力傳感器：約 200g（含 1 米電纜）專(zhuān)用放大器：約 180g（含 MI Union 連接器電纜） |
| 零點(diǎn)調(diào)整功能 | 外部調(diào)節(jié)式（設(shè)置在專(zhuān)用放大器側(cè)面） |
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