一、核心原理：三重作用，溫和高效

二、產(chǎn)品特色：實驗室友好型設(shè)計，安全省心

1. 寬適配性，多基材兼容：可處理 φ100mm 基板及 4 英寸晶片，覆蓋硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、GaAs、InP、SiC）、藍寶石、陶瓷等多種基材，滿足不同實驗場景需求。

2. 緊湊設(shè)計，節(jié)省空間：設(shè)備結(jié)構(gòu)精巧，占用實驗室空間小，適合各類實驗室布局。

3. 常壓操作，無需真空：在大氣壓下即可運行，無需搭配復(fù)雜的真空系統(tǒng)，降低使用門檻和維護成本。

4. 溫和工藝，無損傷處理：全程無靜電、無機械損傷，不會破壞樣品結(jié)構(gòu)，尤其適合敏感電子材料。

5. 多重安全防護：配備上蓋連鎖機制（上蓋開啟時系統(tǒng)無法操作）、自動 N? purge 循環(huán)、加熱臺面保險絲保護、臭氧分解裝置、緊急停止按鈕等多重安全設(shè)計，保障操作人員安全，同時將排氣臭氧濃度降至安全標(biāo)準(zhǔn)。

6. 臭氧無害化處理：內(nèi)置臭氧分解裝置，避免臭氧排放污染，符合實驗室環(huán)保要求。

三、應(yīng)用場景：覆蓋多領(lǐng)域?qū)嶒炇倚枨?/h2>

• 塑封封裝及引線框架表面清洗

• 化合物半導(dǎo)體（GaN、GaAs、InP、SiC）表面清洗

• 表面改質(zhì)（親水性及增進附著力）

• 表面氧化（氧化薄層的形成）

• 光阻的灰化、去除、殘留清洗

• 去除有機污染物

• UV 硬化

SAMCO 作為日本的半導(dǎo)體工藝設(shè)備品牌，擁有多年的設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗，產(chǎn)品以穩(wěn)定的性能、精巧的設(shè)計，廣泛應(yīng)用于各類科研實驗室、半導(dǎo)體研發(fā)機構(gòu)。UV-1 紫外臭氧清洗機，從清洗效率到操作安全性，都做到了行業(yè)較高水平，是實驗室表面處理、樣品前處理的高效利器。

如果你正在找一款溫和高效、適配多基材、安全省心的表面清洗設(shè)備，不妨試試 SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗機，讓樣品前處理更高效、更精準(zhǔn)！