二）測試要求

● 檢測項目：體積電阻率、表面電阻

● 樣品規(guī)格：10μm/14μm/40μm薄膜

（三）解決方案

針對客戶超薄薄膜材料的電學(xué)性能檢測需求，需完成體積電阻率（ρv）及表面電阻（Rs）兩項核心指標測試。

1.體積電阻率（ρv）作為表征材料整體絕緣性能的核心參數(shù)，其數(shù)值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當測試超薄樣品時，需要使用大電極均勻加壓，避免局部擊穿。

2.表面電阻（Rs）作為表征材料表面導(dǎo)電特性的核心參數(shù)，其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級薄膜材料測試中，易引發(fā)因電極接觸不良導(dǎo)致的數(shù)據(jù)波動。

為兼顧測試精度與效率，推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計/高阻計+TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具的組合方案

TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10^-17A)，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求，大大解決薄膜材料信號漂移問題。

在10μm級超薄薄膜的體積電阻率測試中，傳統(tǒng)小電極存在兩大技術(shù)瓶頸：覆蓋失效+短路風(fēng)險，同惠電子針對性開發(fā)了TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具適用被測件尺寸：直徑 50mm ~ 125mm，厚度：10μm ~ 10mm，確保有效接觸面積，大大降低短路發(fā)生率。

薄膜材料是柔性電子、新能源等領(lǐng)域的核心基礎(chǔ)，技術(shù)突破推動產(chǎn)業(yè)升級。同惠電子依托三十余年精密測試技術(shù)積累，以TH2690系列高精度儀器，為超薄、柔性、高阻薄膜提供檢測方案，助力全流程品控。