一、產(chǎn)品核心定位：多領(lǐng)域精準(zhǔn)測試專業(yè)設(shè)備

江麥智能 VS21 真空探針臺(tái)測試儀是一款集寬溫區(qū)控溫、高精度定位、高真空環(huán)境于一體的專業(yè)測試設(shè)備，主打精密小巧、易搬運(yùn)的特性，核心用于芯片、氣敏元器件等產(chǎn)品在不同氣氛環(huán)境下的電學(xué)性能測試，也可滿足材料分析需求。產(chǎn)品廣泛適配半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理研究、氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造與研究環(huán)節(jié)，是相關(guān)領(lǐng)域高精度測試的核心配套設(shè)備。

二、四大核心賣點(diǎn)：精準(zhǔn)可靠，適配多元測試需求

1. 寬溫區(qū)控溫，精度優(yōu)勢明顯

搭載多規(guī)格高低溫控制系統(tǒng)，溫控范圍覆蓋 -190℃～450℃，常溫至 450℃高溫段控制精度可達(dá) ±0.25℃，低溫段精度 ±0.5℃，分辨率均為 0.1℃，進(jìn)口溫控模塊加持，可精準(zhǔn)模擬不同溫度環(huán)境，滿足各類元器件、材料的高低溫性能測試需求。

2. 三軸精準(zhǔn)位移，定位誤差極小

配備 XYZ 三軸位移座，位移范圍 X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm，實(shí)現(xiàn)被測樣品的精準(zhǔn)定位調(diào)節(jié)，搭配不同規(guī)格探針夾具，可完成高精度觸點(diǎn)測試，適配芯片、半導(dǎo)體等微小元器件的精細(xì)化測試要求。

3. 高真空性能，漏率表現(xiàn)優(yōu)異

支持多規(guī)格真空系統(tǒng)選配，從機(jī)械泵（真空度 1×10?1Pa）到分子泵組（真空度 5×10??Pa），可根據(jù)測試需求靈活選擇；腔體密封采用氟膠圈，抽氣口為 KF16 規(guī)格，搭配不銹鋼定制腔體可實(shí)現(xiàn)超高真空，漏率控制優(yōu)異，穩(wěn)定模擬真空氣氛環(huán)境下的測試條件。

4. 精密小巧易操作，適配多場景使用

腔體主體采用 AL6061 材質(zhì)（可定制 SUS304 不銹鋼），6 寸外尺寸設(shè)計(jì)，精密小巧、易于搬運(yùn)，可靈活放置于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線等不同場景；標(biāo)配 BNC 電信采集接口、6mm 腔體進(jìn)氣口（可定制），φ50mm 樣品觀察窗，操作便捷，適配各類測試工況的接口與觀察需求。

三、全規(guī)格配置：靈活選配，一站式滿足測試需求

VS21 真空探針臺(tái)提供 4 探針（VS21-4）、6 探針（VS21-6） 兩大基礎(chǔ)型號(hào)，全系列配件均可按需選配，覆蓋探針組件、探針規(guī)格、信號(hào)線纜、位移座、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、觀測設(shè)備、輔助附件等全品類，實(shí)現(xiàn)測試需求的個(gè)性化定制。

1. 探針與線纜：可選真空型同軸 / 三軸接口探針夾具，探針鍍金處理，規(guī)格覆蓋 1μm-200μm 多檔位，信號(hào)線纜分單頭甩空線、雙頭線，適配不同測試精度與接線需求；

2. 溫控系統(tǒng)：分高溫控制器（常溫～450℃）、抽取式 / 增壓式高低溫控制器（-190℃~450℃），增壓式含液氮泵，溫控精度更優(yōu)；

3. 真空系統(tǒng)：含飛躍機(jī)械泵、KYKY 分子泵組、萊寶分子泵組，真空度逐級(jí)提升，萊寶款搭配復(fù)合真空計(jì)，可測大氣至 5×10??Pa；

4. 觀測設(shè)備：標(biāo)配體式顯微鏡，可選 200 萬像素 CCD、21 寸戴爾顯示器、100 萬像素視頻顯微鏡 + 10 寸顯示屏，滿足不同觀測清晰度需求；

5. 輔助附件：可選 20L 液氮杜瓦罐，實(shí)現(xiàn) - 196℃至室溫的精準(zhǔn)控溫，適配超低溫測試場景。

四、產(chǎn)品核心優(yōu)勢：定制化 + 高適配，覆蓋全流程測試

1. 材質(zhì)可定制：腔體默認(rèn) AL6061 材質(zhì)，可定制 SUS304 不銹鋼腔體，滿足超高真空、強(qiáng)腐蝕等特殊測試環(huán)境要求；

2. 接口可定制：腔體進(jìn)氣口默認(rèn) 6mm，特殊需求可定制，適配不同氣源管路連接，提升設(shè)備兼容性；

3. 規(guī)格全覆蓋：從探針數(shù)量、探針精度到溫控、真空、觀測系統(tǒng)，全環(huán)節(jié)多檔位選配，一站式滿足半導(dǎo)體、光伏、氣敏分析等不同領(lǐng)域的差異化測試需求；

4. 抗干擾性強(qiáng)：可選真空型三軸接口探針夾具，抗干擾能力突出，可應(yīng)用于半導(dǎo)體等高精度測試場景。

五、適用領(lǐng)域：全行業(yè)覆蓋，制造與研究雙重適配

VS21 真空探針臺(tái)憑借高精度、高可靠性、高定制性的特點(diǎn)，成為多行業(yè)測試的核心設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理材料研究、氣敏元器件分析、集成電路制造、LED/LCD 生產(chǎn)檢測、太陽能電池研發(fā)與品控等領(lǐng)域，既適配實(shí)驗(yàn)室的科研攻關(guān)測試，也可滿足生產(chǎn)線的批量檢測需求，為各領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)與質(zhì)量把控提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。