1. 設(shè)備概述

UIH-3D 型超高亮度照明裝置（UIH Series）是株式會(huì)社 INTECS 生產(chǎn)的專業(yè)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。該裝置利用丁達(dá)爾現(xiàn)象（Tyndall Phenomenon），通過(guò)投射極的高亮度的光線，使微小的異物、氣泡或傷痕產(chǎn)生光散射，從而輔助用戶對(duì)半導(dǎo)體晶圓（Wafer）及光掩模玻璃（Mask Glass）等精密光學(xué)材料進(jìn)行目視檢查。

2. 核心技術(shù)參數(shù)

UIH-3D 型號(hào)作為該系列的高功率版本，其具體技術(shù)規(guī)格如下：

3. 運(yùn)行特性與安全機(jī)制

• 亮度調(diào)節(jié)：具備 10:1 以上的可變寬度，最的高亮度偏差控制在上限 10%、下限 20%。

• 燈泡壽命：

• 最的高亮度下壽命：75 小時(shí)以上。

• 半亮度下壽命：1800 小時(shí)以上。

• 安全保護(hù)功能：

• 發(fā)熱監(jiān)控：當(dāng)燈泡室內(nèi)部溫度超過(guò)約 130℃ 時(shí)，系統(tǒng)會(huì)強(qiáng)制熄燈。

• 冷卻保持：主電源關(guān)閉后，風(fēng)扇會(huì)持續(xù)運(yùn)行，直到燈泡室溫度降至約 40℃ 以下，以保護(hù)設(shè)備。

4. 總結(jié)

UIH-3D 作為 UIH 系列的高功率型號(hào)，通過(guò) 650W 的光源輸出，能夠提供更大的照射面積（設(shè)計(jì)照射徑 φ100mm）和更長(zhǎng)的半亮度壽命（1800小時(shí)）。其配備的自動(dòng)頻率切換和*的過(guò)熱保護(hù)機(jī)制，使其適合在對(duì)潔凈度和安全性有較高要求的半導(dǎo)體 Wafer 及 Mask Glass 生產(chǎn)環(huán)境中，進(jìn)行大范圍的表面與內(nèi)部缺陷目視檢測(cè)。