一款滿量程 0.5SCCM 超微流量高精度的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
一款滿量程 0.5SCCM 超微流量高精度的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
品牌:AEORHC
型號(hào):5800 系列
工作原理:
傳感器采用 316L 不銹鋼毛細(xì)管旁路熱式原理,
比例閥采用 316 L材料和不銹鐵閥芯,
密封材料采用氟橡膠 FKM / 鐵氟龍 PTFE / 全氟 FFKM,
或金屬密封,
閥體采用 316L 不銹鋼材料,
數(shù)字通訊 Modbus RTU 或 485,兼容 模擬通訊 0-5V ,
適用范圍:
可以用于普通氣體或腐蝕性氣體,
一般耐壓1Mpa, 高壓款耐壓 10Mpa,
數(shù)顯屏可選,通過(guò)按鍵可以獨(dú)立操作,
提供防爆型號(hào),用于環(huán)境要求高的場(chǎng)合,
滿量程 0.5SCCM, 相當(dāng)于流量 0.5mL/Min,
最小流量可以做到 0.01mL/Min ,
采用高精度傳感器,
為微流量氣體測(cè)控,
提供性價(jià)比高的產(chǎn)品
應(yīng)用領(lǐng)域:
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、分析儀器、工業(yè)過(guò)程控制、
新能源、半導(dǎo)體設(shè)備等
技術(shù)背景:
產(chǎn)品技術(shù)來(lái)源于美國(guó)和日本,
關(guān)鍵原材料和元器件從國(guó)外進(jìn)口

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