日本島津 SMX-6010:豎直照射型 X 射線檢查設(shè)備
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1. 行業(yè)背景與設(shè)備定位
電子制造行業(yè)中,電子元件體積不斷縮小,多層實(shí)裝基板密度逐步提高,內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷的觀察需求持續(xù)增加。日本島津推出的 Xslicer SMX-6010 豎直照射型 X 射線檢查設(shè)備,適配這類檢測(cè)需求,成為電子制造領(lǐng)域常用的檢查設(shè)備之一。
2. 核心配置與成像能力
核心部件:配備島津自制微焦點(diǎn) X 射線發(fā)生器(管電壓 160kV、1μm 分辨率開放管,JIMA Chart 測(cè)試)與 300 萬(wàn)像素平板探測(cè)器,可呈現(xiàn)高清晰度、寬動(dòng)態(tài)范圍圖像,能觀察細(xì)微內(nèi)部結(jié)構(gòu)與缺陷。
模式切換:可簡(jiǎn)單快速切換透視 / CT 模式,適配不同觀察需求,覆蓋電子元件到多層實(shí)裝基板的檢查場(chǎng)景。
3. CT 拍攝模式與觀察事例
傾斜 CT:拍攝大型實(shí)裝板等板狀樣品時(shí),樣品置于 XY 載物臺(tái),可移近 X 射線發(fā)生裝置,實(shí)現(xiàn)高倍放大拍攝;相比直線 CT,不受樣品寬度影響,適合基板類樣品的高倍放大拍攝。
直線 CT:拍攝大型基板等時(shí),若為高放大倍率將樣品靠近 X 射線發(fā)生裝置,易出現(xiàn)樣品與 X 射線互相干擾,無(wú)法進(jìn)行高倍放大拍攝。
4. 系統(tǒng)構(gòu)成與安全設(shè)計(jì)
X 射線發(fā)生裝置:高壓發(fā)生器一體化,無(wú)需高壓電纜維護(hù);帶自動(dòng)調(diào)整功能,更換燈絲更簡(jiǎn)便。
X 射線檢出器:搭載 300 萬(wàn)像素平板檢出器,配合設(shè)備完成清晰成像。
5 軸載物臺(tái):XYZ 軸搭載樣品,檢出器可傾斜、旋轉(zhuǎn),5 軸聯(lián)動(dòng)支持多角度檢查。
X 射線防護(hù)箱:外部射線泄漏低于 1μSv/h;正面門扉照射時(shí)鎖定,門開狀態(tài)下 5 軸載物臺(tái)不移動(dòng)。
碰撞檢測(cè)傳感器:檢出器周圍裝有該傳感器,樣品碰撞時(shí)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)停止工作。
使用條件:僅需 AC200V±10% 1.5kVA(接地電阻 100Ω 以下)供電,無(wú)需空氣、冷卻水等輔助供應(yīng)。
5. 應(yīng)用場(chǎng)景與使用優(yōu)勢(shì)
SMX-6010 適用于電子元件、多層實(shí)裝基板等電子制造領(lǐng)域的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察與缺陷檢查。其系統(tǒng)自帶多種安全機(jī)構(gòu),維護(hù)便捷,使用成本可控,適配電子制造中多樣的檢查需求,為生產(chǎn)與質(zhì)量把控提供穩(wěn)定的技術(shù)支持。
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