Osaka Vacuum大阪真空渦旋式干式真空泵
Osaka Vacuum大阪真空渦旋式干式真空泵
SDP 系列 螺桿式干式真空泵（主力爆款，半導(dǎo)體通用）

原理

主流型號(hào)（抽速 m3/h）

• SDP?250、SDP?400、SDP?600、SDP?800、SDP?1200

核心特點(diǎn)

1. 無(wú)油清潔，無(wú)返油污染，滿足半導(dǎo)體潔凈要求

2. 可耐輕微粉塵、酸性 / 腐蝕性氣體（刻蝕、CVD）

3. 水冷 / 風(fēng)冷可選，低噪音、低振動(dòng)

4. 支持 EtherCAT / RS485，可接入自動(dòng)化產(chǎn)線

適用

二、CDP 系列 爪式干式真空泵（緊湊型、小型腔體**）

原理

主流型號(hào)

核心特點(diǎn)

• 體積緊湊，適合設(shè)備內(nèi)置、小型真空腔體

• 無(wú)油，低粉塵耐受性，日常維護(hù)簡(jiǎn)單

• 性價(jià)比高，中小型真空設(shè)備標(biāo)配

適用

三、VDP 系列 渦旋式干式真空泵（超高潔凈、微流量精密型）

原理

主流型號(hào)

核心特點(diǎn)

1. 超潔凈，幾乎無(wú)顆粒產(chǎn)生，適合超精密制程

2. 振動(dòng)極低、噪音小

3. 小抽速，用于前級(jí)預(yù)抽、腔體粗抽

適用