SDP 系列 螺桿式干式真空泵（主力爆款，半導體通用）

原理

主流型號（抽速 m3/h）

• SDP?250、SDP?400、SDP?600、SDP?800、SDP?1200

核心特點

1. 無油清潔，無返油污染，滿足半導體潔凈要求

2. 可耐輕微粉塵、酸性 / 腐蝕性氣體（刻蝕、CVD）

3. 水冷 / 風冷可選，低噪音、低振動

4. 支持 EtherCAT / RS485，可接入自動化產(chǎn)線

適用

二、CDP 系列 爪式干式真空泵（緊湊型、小型腔體**）

原理

主流型號

核心特點

• 體積緊湊，適合設備內(nèi)置、小型真空腔體

• 無油，低粉塵耐受性，日常維護簡單

• 性價比高，中小型真空設備標配

適用

三、VDP 系列 渦旋式干式真空泵（超高潔凈、微流量精密型）

原理

主流型號

核心特點

1. 超潔凈，幾乎無顆粒產(chǎn)生，適合超精密制程

2. 振動極低、噪音小

3. 小抽速，用于前級預抽、腔體粗抽

適用

四、MDP 系列 多級羅茨干式真空泵（大流量、高真空干式機組）

原理

主流型號

核心特點

• 超大抽速，適合大型腔體、連續(xù)生產(chǎn)線

• 干式無油，耐腐蝕，可處理工藝廢氣

• 適合長時間 24h 連續(xù)運轉(zhuǎn)

適用

五、防腐專用系列（半導體刻蝕 / 沉積專用）

SDP?O / CDP?O 防腐型

• 轉(zhuǎn)子 + 腔體做特氟龍涂層、耐氟 / 氯 / 酸性氣體

• 專門應對刻蝕、PECVD、蝕刻廢氣、副產(chǎn)物粉塵

• 大阪真空干式泵防腐版本在日系品牌里口碑ji強

六、四大干式泵快速選型對比

1. 精密潔凈、小流量、超高真**級 → VDP 渦旋式

2. 中小型腔體、性價比、設備內(nèi)置 → CDP 爪式

3. 半導體通用主力、耐腐蝕、中等大流量 → SDP 螺桿式

4. 大型產(chǎn)線、超大抽速、量產(chǎn)設備 → MDP 多級羅茨式