目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>Kashiyama樫山工業(yè)>>羅茨干泵>> SDL36E60樫山工業(yè)Kashiyama SDL大型羅茨干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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樫山工業(yè)Kashiyama SDL大型羅茨干式真空泵
樫山工業(yè)Kashiyama SDL大型羅茨干式真空泵
大抽速 + 高真空：抽速覆蓋25,000–60,000 L/min，極限壓力0.8 Pa，適配大型腔體高速抽氣。
多級羅茨 + 無油潔凈：多級非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，wan全無油，無粉塵磨損，滿足半導(dǎo)體 / 面板高潔凈要求。
純風(fēng)冷 + 節(jié)能：無需冷卻水，風(fēng)冷散熱；高效電機(jī) + 低損耗轉(zhuǎn)子，能耗比同級別水冷泵低約 20%。
長維護(hù)周期：氮?dú)?/ 空氣工況下標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)間隔 6 年，顯著降低停機(jī)成本。
強(qiáng)蒸汽 / 溶劑處理：內(nèi)置大容量氣鎮(zhèn) + 耐腐蝕材質(zhì)，可處理水蒸氣、IPA、丙酮等溶劑蒸汽。
低噪低振 + 緊湊：噪音≤75 dB(A)，振動≤10μm；立式緊湊設(shè)計(jì)，節(jié)省安裝空間。
| 型號 | *大抽速 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 前級泵抽速 (L/min) | 重量 (kg) | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|
| SDL12E50 | 25,000 | 0.8 | 8,000 | 645 | 3φ 200–440V |
| SDL20E50 | 40,000 | 0.8 | 8,000 | 800 | 3φ 200–440V |
| SDL36E60 | 60,000 | 0.8 | 10,000 | 920 | 3φ 200–440V |
| SDL3600 | 60,000 | 0.8 | 12,500 | 950 | 3φ 200–440V |
半導(dǎo)體制造：大型晶圓（300mm/450mm）刻蝕、CVD、PVD、ALD、真空焊接、測試 / 封裝。
FPD / 光伏：LCD/OLED 面板、太陽能電池板的鍍膜、刻蝕、清洗、干燥制程。
工業(yè)真空：大型中央真空系統(tǒng)、真空熱處理、真空浸漬、大型腔體（L/L Chamber）高速抽氣。
科研 / **制造：大型真空艙、航天模擬、高能物理、質(zhì)譜 / SEM 聯(lián)用（高真空端）。
| 對比項(xiàng) | NeoDry E 系列 | SDL 系列 |
|---|---|---|
| 定位 | 小型風(fēng)冷干泵（實(shí)驗(yàn)室 / 中小工業(yè)） | 大型風(fēng)冷干泵（半導(dǎo)體 / 大型工業(yè)） |
| 抽速 | 110–5,000 L/min | 25,000–60,000 L/min |
| 極限壓力 | 0.3–5.0 Pa | 0.8 Pa |
| 重量 | 19–125 kg | 645–950 kg |
| 維護(hù)周期 | 3–6 年 | 6 年 |
| 應(yīng)用場景 | 實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、小型制程 | 半導(dǎo)體、FPD、大型中央真空 |
抽速匹配：按腔體容積、抽氣時(shí)間、漏率選擇，大型腔體優(yōu)先 SDL36E60/SDL3600。
極限壓力：高真空需求（≤1Pa）選 SDL 系列；普通真空（1–10Pa）可選 E 系列。
蒸汽負(fù)載：含水汽 / 溶劑時(shí)，必選帶氣鎮(zhèn)型號，必要時(shí)加冷阱。
電源適配：標(biāo)準(zhǔn)三相 AC200–220V/380–440V，50/60Hz 通用。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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