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更新時(shí)間：2026-05-29 13:25:42瀏覽次數(shù)：35評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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京都玉崎EBARA荏原螺桿式干式真空泵
京都玉崎EBARA荏原螺桿式干式真空泵
類型：螺桿式干式真空泵（Oil?free，無水冷）
原理：一對(duì)同步高速螺桿轉(zhuǎn)子，容積式壓縮；泵體主動(dòng)高溫控，讓副產(chǎn)物（如 NH?Cl）不冷凝、不沉積
核心用途：CVD、刻蝕、ALD、擴(kuò)散等大量反應(yīng)副產(chǎn)物 + 粉塵 + 腐蝕氣的高負(fù)載制程
| 型號(hào) | 抽速 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 極限功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EST10N | 1,000 | 2.7 | 2.3 | 約 150 |
| EST25N | 2,500 | 0.4 | 3.0 | 約 180 |
| EST100WN | 10,000 | 0.4 | 3.2 | 約 300 |
| EST200WN | 20,000 | 0.4 | 3.2 | 約 350 |
| EST300WN | 30,000 | 0.4 | 4.5 | 約 400 |
| EST500WN | 50,000 | 0.4 | 4.6 | 約 500 |
冷卻：水冷（3–8 L/min）
噪聲：約 68–74 dBA
電源：三相 200–220V，50/60Hz 性能一致
泵體主動(dòng)加熱 + 保溫，維持高溫，防止粉塵 / 鹽類副產(chǎn)物冷凝結(jié)塊
特別適合CVD、PECVD、LPCVD 這類大量副產(chǎn)物的制程
標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼 + 耐腐涂層；可選鎳合金 / 鎳鍍層，可處理 Cl?、HF、硅烷、氨氣等
螺桿間隙大、抗粉塵能力強(qiáng)，比羅茨干泵更 “皮實(shí)"
螺桿結(jié)構(gòu)高氣體負(fù)荷穩(wěn)定性，適合大腔室、大載氣（N?/Ar）抽氣
配智能轉(zhuǎn)速控制，空載降速、滿載升速，節(jié)能 + 低磨損
無油，無油霧污染，滿足半導(dǎo)體潔凈室要求
模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)周期長(zhǎng)，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控 / 預(yù)警
半導(dǎo)體：CVD（LPCVD/PECVD/HDP?CVD）、ALD、RTP、刻蝕、擴(kuò)散
光伏 / 顯示：薄膜沉積、PECVD、TCO 鍍膜、OLED 制程
化工 / 工業(yè)：腐蝕性氣體、粉塵氣體、高溫廢氣的無油抽氣
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