真空泵全行業(yè)應(yīng)用場景細(xì)分（按行業(yè) + 工藝 + 適配泵型，直接對標(biāo) Taiko/Edwards/ULVAC）

一、半導(dǎo)體 / 芯片制造（干式真空泵核心主戰(zhàn)場）

1. 晶圓前段制程

• 光刻：真空腔體、真空吸附、環(huán)境真空

• 刻蝕 Etch：反應(yīng)腔體抽真空、廢氣排放

• 薄膜沉積 PVD/CVD/ALD：高真空成膜、工藝排氣

• 離子注入：超高真空離子加速、腔體維持

• 擴(kuò)散 / 退火：高溫爐管真空、脫氣除雜

• 清洗去膠：真空干燥、真空脫泡

2. 晶圓后段 / 封測

• 晶圓減薄、切割真空吸附

• 固晶、鍵合真空固定

• 封裝灌封真空脫泡

• 芯片老化測試、高低溫真空測試

二、光伏 / 新能源

• 硅片拉晶：單晶爐、多晶爐爐體真空

• 光伏鍍膜：PECVD、磁控濺射、AR 鍍膜

• 電池片擴(kuò)散、燒結(jié)、真空烘干

• 組件層壓：光伏板真空層壓脫氣

三、鋰電 / 電池行業(yè)

• 極片涂布后真空烘干

• 注液前電芯真空脫氣

• 化成、老化真空靜置

• 電池封裝、真空檢漏

• 電解液真空脫泡、輸送真空負(fù)壓

四、FPD 平板顯示（LCD/OLED）

• 玻璃基板鍍膜、濺射

• 真空貼合、屏幕封裝

• 蒸鍍工藝（OLED 有機(jī)材料蒸鍍）

• 腔體除塵、真空排氣

五、化工 / 精細(xì)化工 / 醫(yī)藥

• 真空蒸餾、精餾、減壓濃縮

• 真空反應(yīng)釜、負(fù)壓合成

• 溶劑回收、真空脫溶

• 醫(yī)藥凍干、真空干燥、**

• 腐蝕性氣體、有毒廢氣抽吸

六、光學(xué) / 玻璃 / 真空鍍膜

• 眼鏡片、手機(jī)玻璃真空鍍膜

• 五金飾品、塑膠件真空鍍鋁

• 真空熔煉、玻璃真空脫泡

七、食品 / 包裝

• 真空包裝、保鮮抽真空

• 食品凍干、真空脫水

• 醬料、飲料真空脫泡、脫氣

八、電子五金 / 注塑 / 自動化

• CNC、加工中心真空吸附工裝

• 吸盤機(jī)械手、板材真空搬運

• 注塑真空脫氣、擠出機(jī)脫揮發(fā)份

• 電路板 PCB 真空壓合、灌封脫泡

九、實驗室 / 科研院校

• 真空實驗、材料表征

• 質(zhì)譜儀、掃描電鏡 SEM 配套

• 物理化學(xué)真空測試

十、環(huán)保 / 廢水 / 污泥

• 真空負(fù)壓污泥脫水

• 廢水真空抽濾、真空蒸餾

• 廢氣負(fù)壓收集、管路負(fù)壓輸送

按真空度簡易分類

1. 粗真空：包裝、吸附、脫水、負(fù)壓輸送 → 水環(huán)、旋片

2. 中真空：烘干、蒸餾、普通鍍膜、鋰電制程 → 單級螺桿 TDP

3. 高真空：半導(dǎo)體刻蝕 / CVD、光伏鍍膜、FPD → BEH、RMC 羅茨機(jī)組

4. 超大抽速高真空：整線制程、大型爐管、高世代面板 → TRIC 系列