作為國(guó)內(nèi)光刻裝備行業(yè)，上海微電子裝備有限公司長(zhǎng)期專注于精密光刻設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)與量產(chǎn)制造，是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的核心企業(yè)。其全系光刻裝備產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、晶圓制造、精密光學(xué)檢測(cè)等關(guān)鍵核心工序，設(shè)備整體精度、穩(wěn)定性與潔凈等級(jí)要求位居行業(yè)頂尖水平。其中，設(shè)備整機(jī)恒溫控制、腔體環(huán)境穩(wěn)溫、工藝輔助溫控、精密部件恒溫防護(hù)等核心環(huán)節(jié)，對(duì)加熱溫控配件的潔凈度、溫度均勻性、運(yùn)行穩(wěn)定性、低損耗及長(zhǎng)效使用壽命有著極為嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)，普通工業(yè)級(jí)溫控配件無(wú)法適配其精密制造工況。 

自項(xiàng)目對(duì)接啟動(dòng)以來(lái)，我司高度重視本次裝備配套合作，專門組建專屬技術(shù)服務(wù)與項(xiàng)目對(duì)接團(tuán)隊(duì)，全程跟進(jìn)客戶需求對(duì)接、工況分析、方案優(yōu)化、樣品測(cè)試及落地交付全流程。針對(duì)客戶精密光刻設(shè)備的特殊使用環(huán)境與精準(zhǔn)溫控要求，我司聯(lián)動(dòng)日本坂口電熱原廠技術(shù)團(tuán)隊(duì)，結(jié)合多年半導(dǎo)體行業(yè)溫控配套經(jīng)驗(yàn)，為客戶量身定制適配性的精密溫控配套解決方案。通過(guò)多輪上機(jī)實(shí)測(cè)、長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工況運(yùn)行驗(yàn)證及參數(shù)優(yōu)化調(diào)整，所有送檢產(chǎn)品各項(xiàng)性能指標(biāo)均客戶量產(chǎn)使用標(biāo)準(zhǔn)，順利通過(guò)客戶嚴(yán)格的資質(zhì)審核與可靠性驗(yàn)證，成功拿下批量配套供貨資格。 

本次為上海微電子配套的全系溫控加熱產(chǎn)品，均為日本坂口電熱原廠原裝正品，從原材料甄選、原廠精工生產(chǎn)到出廠質(zhì)檢全流程嚴(yán)格把控，產(chǎn)品具備高潔凈、溫控精準(zhǔn)、運(yùn)行穩(wěn)定、耐腐蝕、低析出、超長(zhǎng)壽命等核心優(yōu)勢(shì)，適配半導(dǎo)體精密設(shè)備的嚴(yán)苛生產(chǎn)環(huán)境。同時(shí)，依托我司成熟的進(jìn)口供應(yīng)鏈體系，所有產(chǎn)品貨源正規(guī)可溯源，可提供全套原廠材質(zhì)報(bào)告、出廠檢測(cè)證書及合規(guī)資質(zhì)文件，保障客戶設(shè)備生產(chǎn)的規(guī)范性與穩(wěn)定性。