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一、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)亮點(diǎn)
SAP2-20F-SB-8-1是MRM研發(fā)的新一代自動化控制型PTFE氣動隔膜閥,專為精密流體系統(tǒng)時序通斷、自動切換工況定制開發(fā),廣泛適配工業(yè)自動化高純流體管路。產(chǎn)品采用全氟塑無金屬接觸設(shè)計(jì),所有接觸介質(zhì)的部位均采用高純PTFE材質(zhì),從源頭杜絕金屬離子析出、介質(zhì)交叉污染及酸堿腐蝕問題,契合半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)療等行業(yè)的潔凈生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。
閥體采用優(yōu)化式直通流道設(shè)計(jì),流道通暢、阻力損耗極低,保障大流量介質(zhì)穩(wěn)定輸送,適配20mm標(biāo)準(zhǔn)PTFE管路搭建。搭配高韌性改性PTFE隔膜組件,密封回彈性能優(yōu)異,可實(shí)現(xiàn)雙向嚴(yán)密封堵,長期高頻啟閉依舊保持零泄漏。專屬8型氣動驅(qū)動單元,響應(yīng)速度快、動作平穩(wěn)精準(zhǔn),可匹配自動化設(shè)備時序程序控制;整體機(jī)身緊湊輕薄,搭配可視化透明閥體,可直觀核查管路介質(zhì)流動狀態(tài),適配產(chǎn)線高密度、小空間的管路安裝布局。
二、核心性能參數(shù)
適用流體:化學(xué)品、純水、氣體
流體溫度:10-100℃
大氣溫度:0-40℃
液體流動部分的材質(zhì):本體(PTFE)、薄膜(PTFE)
操作方式:單動
氣壓壓力:0.3-0.6MPa
閥門尺寸:10(3/8′′)、15(1/2′′)、20(3/4′′)、25(1′′)
流通孔:Φ8、Φ10、Φ16、Φ22
產(chǎn)品嚴(yán)格遵循SEMI行業(yè)潔凈規(guī)范,閥體內(nèi)壁光滑致密,不吸附介質(zhì)、無顆粒物析出,可滿足高純度流體輸送要求。隔膜經(jīng)過特殊強(qiáng)化處理,抗疲勞、耐老化,可長期承受高頻次啟閉動作,有效降低設(shè)備故障概率與后期維護(hù)成本,適配工廠24小時連續(xù)自動化量產(chǎn)工況。
三、適用行業(yè)與工況
依托精準(zhǔn)氣動控制、高潔凈、耐腐防漏、運(yùn)行穩(wěn)定的多重優(yōu)勢,SAP2-20F-SB-8-1應(yīng)用場景十分廣泛。核心適配半導(dǎo)體濕法蝕刻、晶圓清洗制程、光伏電池片藥液循環(huán)、光電面板制程流體切換、生物制藥自動化供液、精細(xì)化工試劑自動分配等領(lǐng)域。可安全管控HF、強(qiáng)酸強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑等腐蝕性介質(zhì),是自動化流體系統(tǒng)中管路通斷、時序切換、循環(huán)穩(wěn)壓的核心自控配件。
四、安裝規(guī)范與養(yǎng)護(hù)說明
設(shè)備安裝前需精細(xì)處理PTFE管路擴(kuò)口端面,確保表面平整無毛刺、無污漬,對接時均勻鎖緊接頭,杜絕偏心受力引發(fā)的密封滲漏問題。使用過程中嚴(yán)格恪守設(shè)備額定溫壓參數(shù),禁止超壓、超溫運(yùn)行,避免隔膜老化、閥體變形損壞。生產(chǎn)線長期停機(jī)時,需利用高純氮?dú)獯祾吖苈窔埩舾g介質(zhì),防止介質(zhì)滯留侵蝕密封組件。日常養(yǎng)護(hù)無需拆解閥體,定期檢查氣動供氣狀態(tài)、接頭緊固性及閥體密封情況,即可保障設(shè)備長期精準(zhǔn)、穩(wěn)定運(yùn)行。
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