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MRM NV-01-C003-F4 是一款專為高純腐蝕性流體設(shè)計(jì)的 PFA 材質(zhì)精密針閥,采用一體式全氟樹(shù)脂結(jié)構(gòu),接液部無(wú)金屬部件,杜絕金屬離子析出風(fēng)險(xiǎn),適配半導(dǎo)體、制藥等高潔凈制程。閥芯采用 60° 錐形設(shè)計(jì),配合細(xì)牙螺紋與鏡面拋光工藝(Ra≤0.4μm),手輪操作扭矩≤0.5N?m,可實(shí)現(xiàn)從滴流到滿流的線性精準(zhǔn)調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)精度可達(dá) ±1%。閥體采用透明 PFA 材質(zhì),便于觀察流體狀態(tài),整體結(jié)構(gòu)緊湊,專為 1/4 英寸 PFA 管路設(shè)計(jì),適配狹小空間安裝需求。
材質(zhì):接液部全 PFA(聚四氟乙烯共聚物),耐溫 - 20℃~120℃
連接方式:1/4 英寸 PFA 擴(kuò)口連接,無(wú)需額外密封件,安裝便捷
調(diào)節(jié)特性:錐形閥芯線性調(diào)節(jié),流量可調(diào)范圍廣,最小可穩(wěn)定控制至滴流狀態(tài)
耐壓等級(jí):常溫下最高耐壓 1.0MPa,適配低壓高純流體輸送場(chǎng)景
啟閉壽命:原廠精工制造,耐磨密封結(jié)構(gòu),啟閉次數(shù)超 20 萬(wàn)次無(wú)泄漏
潔凈等級(jí):符合半導(dǎo)體 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),無(wú)析出、無(wú)吸附,適配電子級(jí)化學(xué)品輸送
憑借高潔凈、強(qiáng)耐腐蝕、精準(zhǔn)調(diào)節(jié)的核心特性,該針閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗、制藥無(wú)菌流體輸送、高純化學(xué)品分配、實(shí)驗(yàn)室微量分析、光伏藥液供給等領(lǐng)域。尤其適合強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑等高腐蝕性介質(zhì),以及對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的微量流量控制工況,是高純流體系統(tǒng)的核心控制元件。
安裝時(shí)需確保擴(kuò)口端面清潔無(wú)劃痕,均勻擰緊手輪避免偏心受力;禁止超溫超壓使用,長(zhǎng)期停用前建議用高純氮?dú)獯祾吖苈?,防止介質(zhì)殘留腐蝕密封面。日常無(wú)需維護(hù),定期檢查手輪松緊度與閥體有無(wú)滲漏即可,長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定可靠,顯著降低系統(tǒng)運(yùn)維成本。
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