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ULVAC愛(ài)發(fā)科日本進(jìn)口分光橢偏儀UNECS-1M的操作應(yīng)用
"Model:UNECS"是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測(cè)量方式，高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。UNECS-1M的傳感器單元輕巧緊湊，使其易于集成到檢測(cè)設(shè)備中。
特點(diǎn)
高速測(cè)定：快照方法可高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。
適用于可見(jiàn)光譜：波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型（530nm至750nm）和可見(jiàn)光譜類(lèi)型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
內(nèi)置型：緊湊輕巧的傳感器單元和控制單元使其易于集成到檢查設(shè)備中。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率的測(cè)量
規(guī)格
波長(zhǎng)范圍： 530～750nm、380～760nm（選擇）
點(diǎn)徑： Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度：70°固定
膜厚再現(xiàn)性： 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍：1nｍ～2μｍ
測(cè)量時(shí)間受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms
機(jī)器構(gòu)成：測(cè)量頭、控制器BOX、光源單元、使用說(shuō)明書(shū)（CD）、解析軟件（CD）＊控制PC不含在標(biāo)準(zhǔn)中
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