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ULVAC愛發(fā)科日本精選低溫泵CRYO-U4H的操作說明
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵Model。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
真空泵是從密封空間排出氣體并產(chǎn)生低于大氣壓的壓力狀態(tài)（真空）的機(jī)器。真空泵有多種類型，每種都有不同的抽氣機(jī)構(gòu)和抽氣速度，必須根據(jù)目的和應(yīng)用來使用。1×10-2Pa至1×10-6Pa范圍稱為高真空，1×10-7Pa至1×10-9Pa范圍稱為超高真空，1×10-10Pa或較低的稱為高真空。
冷凝泵是一種低溫真空泵，旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到超高真空的狀態(tài)。該泵通過在內(nèi)部安裝的低溫表面凝結(jié)和吸附氣體，從而高效地捕捉氣體。冷凝泵的最大特點(diǎn)是能夠提供無油污染的清潔真空環(huán)境。此外，盡管采用了吸附方式，冷凝泵的排氣速度非?？?，這在與其他真空泵的比較中尤為突出。因此，冷凝泵在需要清潔和高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。在考慮引入冷凝泵時，其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是其主要優(yōu)勢。
特點(diǎn)
最大發(fā)揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。
特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。
1臺壓縮機(jī)最多可以運(yùn)行四臺泵。
可以根據(jù)您的應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。
外形尺寸 (單位:mm)
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