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| 參考價(jià): | ¥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
- DC-5-P 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù):38更新時(shí)間:2026-06-22 09:21:58
馮女士
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,汽車及零部件,電氣,綜合 |
該電源在預(yù)設(shè)周期反轉(zhuǎn)輸出電壓,抵消目標(biāo)表面的電荷積累,從而抑制異常放電,提升良率和通量。
ULVAC/日本愛發(fā)科脈沖與直流電源系統(tǒng),型號(hào):DC-5-P
ULVAC/日本愛發(fā)科脈沖與直流電源系統(tǒng),型號(hào):DC-5-P
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過在電極之間施加電壓來產(chǎn)生等離子體的裝置。 利用該技術(shù),實(shí)現(xiàn)了PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。 通過這些工藝,薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上,以創(chuàng)造新的附加價(jià)值。 這項(xiàng)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘J褂玫漠a(chǎn)品中。
薄膜形成工藝包括PVD(如濺射)、CVD、蝕刻和灰化,每種工藝都需要合適的電源。
特色
抑制異常放電使高功率輸入成為可能
減少電弧造成的場面損傷
振蕩頻率可設(shè)定為5kHz至250kHz以輸出
最多可并聯(lián)運(yùn)行6臺(tái)機(jī)車(僅限同型號(hào)組合)
通過改變工作模式,它也可以作為具有低電弧功能的直流電源使用。
規(guī)格
| 模型 | DC-5-P | DC-10-P | |
| 輸入規(guī)范 | 輸入電壓 | 三相交流電208V | |
| 輸入容量 | 低于8kVA | 低于13.5kVA | |
| 輸出規(guī)范 | 額定功率 | 5千瓦 | 10千瓦 |
| 額定電流 | 12.5A | 25A | |
| 額定電壓 | 5k-150kHz:800V,155k-250kHz:650V | ||
| 振蕩頻率 | 5k-250kHz | ||
| 反脈沖寬度 | 0.4μ-5.0μs | ||
| 點(diǎn)火電壓 | 1500伏 | ||
| 控制 | 控制精度 | 額定輸出的±為0.5%或更低,或設(shè)定值的±1%或更低,以較大者為準(zhǔn) | |
| 控制保證范圍 | 額定功率的10%到100% | ||
| 外部控制 | 模擬/數(shù)字串行通信(RS232C 或 RS485) | ||
| 并聯(lián)操作 | 是的 | ||
| 冷卻方法 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | ||
| 外部尺寸(W×D×H)不包括突出物 | 483×630×133(毫米) | ||
| 質(zhì)量 | 29公斤 | 36公斤 | |
| 兼容規(guī)范 | CE,KC,SEMI F47,RoHS(歐洲) | ||



