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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,汽車及零部件,電氣,綜合 |
產品介紹
日本ULVAC/日本愛發(fā)科晶體薄膜沉積控制器，型號：CRTM-R1
日本ULVAC/日本愛發(fā)科晶體薄膜沉積控制器，型號： CRTM-R1
特色
采用新的測量方法大大提升了速率穩(wěn)定性。
能力（CI值）測量提升了晶體板的異常檢測能力。
憑借出色的膠片厚度和速率分辨率（0.0018? @5MHz），也非常適合低速率沉積控制。
最多可同時控制8個沉積。 （添加選項時）
通信方式支持以太網和RS-232C。
主機上存儲的各種日志數據可以以CSV格式傳輸到USB。
目的
金屬和光學薄膜沉積過程中的薄膜厚度和速率控制
規(guī)格
| 頻率 | 測量范圍 | 4.00~3.00MHz@4MHz 5.00~3.50MHz@5MHz 6.00~4.50MHz@6MHz |
| 測量分辨率 | 1 MHz | |
| 表示分辨率 | 1 MHz | |
| 沉積率 | 測量范圍*1 | 0.000~999.9?/s （0~99.99nm/s） |
| 測量分辨率*2 | 0.0028?/s @4MHz 0.0018?/s @5MHz 0.0012?/s @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001?/s | |
| 薄膜厚度 | 測量范圍*1 | 0.000~9999k? （0~999.9μm） |
| 測量分辨率*2 | 0.0028? @4MHz 0.0018? @5MHz 0.0012? @6MHz | |
| 表示分辨率*1 | 0.001k? | |
| 支持的傳感器頻率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安裝傳感器數量（單一） | 2（選項包括MAX8，IF卡：每張卡2張×4張卡） | |
| 可安裝傳感器數量（多枚） | 2（選項包括MAX8，IF卡：每張卡2張×4張卡） | |
| 采樣率 | 100毫秒 | |
| 車庫項目數量 | 999 | |
| 流程項目數量 | 99 | |
| 數字輸入分數 | 14張（可選最多56張，DIO卡：每張14分×4張卡牌） | |
| 數字輸出評分 | 8（MAX32、DIO卡選項：每張卡8件物品×4張卡牌） | |
| 模擬輸出點 | 2張（MAX16選項，IF卡：每張2分×4張卡+AO卡：每張8分×1張卡） | |
| 模擬輸出范圍 | -10~+10V | |
| 溝通方法 | 局域網（以太網）（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB2.0 Type-B | |
| 外部尺寸（寬度×深度×高度） | CRTM-R1：約480×約320×約130毫米 CTM（-D） 選項：約80×約152×約53毫米 | |
| 重量 kg | CRTM-R1：5.3公斤（最高可選配：5.8公斤） CTM（-D） 選裝：0.6公斤 | |
| 實用性 | 交流 100~240V±10%，50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保險絲 | 250V2.5A（2個5×20毫米） | |
| 知識產權保護等級 | IP20 | |
| 過電壓類別 | 第二類。 | |
| 高海拔條件 | 海拔2000米以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 使用環(huán)境 | 溫度：5~40°C，濕度 ：相對濕度20~85%（無冷凝水） 僅限室內 | |
| 存儲環(huán)境 | 溫度：-10~60°C（無電，無冷凝） 濕度 ：相對濕度20~85%（無冷凝） | |
| 熱身時間 | 大約30分鐘 | |
| 兼容規(guī)范 | CE | |
*1：當工具=100和密度=1時的數值被設置。
*2：頻率分辨率通過工具=100和密度=1轉換。
期權介紹
使用CRTM-R1時，你需要可選的CTM（-D）+電纜組、傳感器和引入法蘭等。
傳統(tǒng)CRTM與新CRTM-R1的速率比較
CRTM-R1 也安靜且穩(wěn)定。
[新CRTM-R1]
[ 傳統(tǒng)CRTM ]
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