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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
BGM2-101高精度氣體監(jiān)測(cè)儀
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- BGM2-101 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：10更新時(shí)間：2026-06-18 10:37:39
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,汽車及零部件,電氣,綜合 |
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科高精度氣體監(jiān)測(cè)儀，型號(hào)：BGM2-101
日本ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科高精度氣體監(jiān)測(cè)儀，型號(hào)：BGM2-101
氣體監(jiān)測(cè)儀是一種用于管理工藝氣體并實(shí)時(shí)高精度測(cè)量和監(jiān)測(cè)其濃度的設(shè)備，適用于各種制造工藝。 利用四極桿原理，它檢測(cè)氣體成分并提供準(zhǔn) 確的氣體成分?jǐn)?shù)據(jù)。 這有助于在需要嚴(yán)格氣體管理的領(lǐng)域（如電子器件和半導(dǎo)體）中提高質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測(cè)儀）主要用于半導(dǎo)體制造和電子器件制造工藝，采用氣體成分和濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 主要特點(diǎn)如下。 *高精度測(cè)量特定氣體成分以幫助控制過(guò)程。 *實(shí)時(shí)監(jiān)控工藝氣體狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)異常早期檢測(cè)和工藝優(yōu)化。 *單次測(cè)量可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)氣體組分。 Albac 的氣體分析儀
（工藝氣體監(jiān)測(cè)儀）近年來(lái)不僅支持上述工藝的高效高精度氣體分析，也應(yīng)用于各種工業(yè)流程和研發(fā)。
特色
具有較好性價(jià)比的通用規(guī)格
測(cè)量質(zhì)量數(shù)范圍：1~100 amu
集成顯示設(shè)計(jì)......無(wú)需電腦即可測(cè)量
操作簡(jiǎn)單：一鍵功能......對(duì)所有人來(lái)說(shuō)都很簡(jiǎn)單。 無(wú)需復(fù)雜操作
增強(qiáng)的泄漏測(cè)試功能
總壓力測(cè)量是可能的。
Qulee QCS 軟件標(biāo)配
CE標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)
目的
薄膜成型設(shè)備（如真空沉積和濺射設(shè)備）的殘余氣體分析
高真空排氣設(shè)備的殘余氣體分析
冷凍干燥設(shè)備的殘余氣體分析
用于研發(fā)的各種氣體分析
規(guī)格
分辨率 M/△M = 1M（10% P.H.）
| 類型 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 質(zhì)量分離方法 | 四極桿質(zhì)譜儀 | |||
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 1~100 amu | 1~200 AMU | 1~100 amu | 1~200 AMU |
| 探測(cè)器 | 法拉第杯 | 次級(jí)電子倍增器的 法拉第杯 | ||
| 靈敏度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小檢測(cè)分壓 | 10-8爸 | 10-12爸 | ||
| 最大操作壓力 | 1x10-2爸 | |||
| 總壓力測(cè)量函數(shù) | 可得 | |||
| 一鍵功能 | 可用/氦/氫2氧氣2/O2/任意氣體 | |||
| 一鍵 泄漏檢查功能 | 可得 | |||
| 電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
| 最大烘焙 溫度 （傳感器連接時(shí)） | 120°C | |||
| 最大烘焙 溫度 （傳感器單元連接時(shí)） | 250°C | |||
| 工作溫度范圍 | 10~40°C | |||
| 軟件 | Qulee QCS 版本4.2及更高版本（兼容Windows 8/10/11） | |||
| 兼容規(guī)范 | CE | |||
選項(xiàng)
| 分析管 | BGM-AN101/201 | 背景音樂(lè) （2）-101/201 |
| 分析管 | BGM-AN102/202 | BGM（2）-102/202 |
| 離子源 | BGM-IS01 | 背景音樂(lè)（2）/REGA 共享 |
| 次級(jí)電子倍增管 | BGM-EM01 | 對(duì)于BGM-AN102/102 |
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