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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
CGM2-051高精度氣體監(jiān)測(cè)儀
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- CGM2-051 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：10更新時(shí)間：2026-06-18 10:32:34
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,汽車及零部件,電氣,綜合 |
一個(gè)體現(xiàn)各生產(chǎn)線技術(shù)專家聲音的新工藝監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)到來。它非常適合濺射設(shè)備的工藝管理（提升質(zhì)量和良率）。
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC/日本愛發(fā)科高精度氣體監(jiān)測(cè)儀，型號(hào)：CGM2-051
日本ULVAC/日本愛發(fā)科高精度氣體監(jiān)測(cè)儀，型號(hào)：CGM2-051
氣體監(jiān)測(cè)儀是一種用于管理工藝氣體并實(shí)時(shí)高精度測(cè)量和監(jiān)測(cè)其濃度的設(shè)備，適用于各種制造工藝。 利用四極桿原理，它檢測(cè)氣體成分并提供準(zhǔn) 確的氣體成分?jǐn)?shù)據(jù)。 這有助于在需要嚴(yán)格氣體管理的領(lǐng)域（如電子器件和半導(dǎo)體）中提高質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測(cè)儀）主要用于半導(dǎo)體制造和電子器件制造工藝，采用氣體成分和濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 主要特點(diǎn)如下。 *高精度測(cè)量特定氣 體成分以幫助控制過程。 *實(shí)時(shí)監(jiān)控工藝氣體狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)異常早期檢測(cè)和工藝優(yōu)化。 *單次測(cè)量可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)氣體組分。 Albac 的氣體分析儀 （工藝氣體監(jiān)測(cè)儀）近年來不僅支持上述工藝的高效高精度氣體分析，也應(yīng)用于各種工業(yè)流程和研發(fā)。
特色
非常適合濺射工藝
空氣泄漏監(jiān)測(cè)
殘留水分管理
過程監(jiān)控?zé)o需差動(dòng)排氣系統(tǒng)......測(cè)量值低于1Pa，節(jié)省空間
高靈敏度泄漏測(cè)試（CGM2-052）成為可能，并具備增強(qiáng)的泄漏測(cè)試功能。
總壓力測(cè)量是可能的。
集成顯示設(shè)計(jì)......無需電腦即可測(cè)量
操作簡(jiǎn)單——一鍵功能......任何人都方便，無需復(fù)雜操作
Qulee QCS 軟件標(biāo)配
CE標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)
目的
濺射設(shè)備中的殘余氣體分析、工藝監(jiān)測(cè)及雜質(zhì)（H2O）管理
用于濺射裝置的泄漏測(cè)試
規(guī)格
解決
M/△M=1M（10% P.H.）
| 類型 | CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 |
| 質(zhì)量分離方法 | 四極桿質(zhì)譜儀 | |||
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 1~50 amu | 1~100 amu | 1~50 amu | 1~100 amu |
| 探測(cè)器 | 法拉第杯 | 次級(jí)電子倍增管 / 法拉第杯 | ||
| 靈敏度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小檢測(cè)分壓 | 1x10-7爸 | 1x10-10爸 | ||
| 最大操作壓力 | 2PA | 2Pa（FC）1x10-2Pa（SEM） | ||
| 線性 | 1Pa | |||
| 總壓力測(cè)量函數(shù) | 可得 | |||
| DEGAS特色 | 內(nèi)置 / 電子減震系統(tǒng)，300V / 5mA | |||
| 一鍵泄漏檢查功能 | 可用 / 氦 / 氫2O / 氮2 / 氧2 / 任何氣體 | |||
| 電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
| 最大烘焙溫度 （傳感器連接時(shí)） | 120°C | |||
| 最大烘焙溫度 （傳感器單元連接時(shí)） | 250°C | |||
| 工作溫度范圍 | 10~40°C | |||
| 界面 | 以太網(wǎng) | |||
| 軟件 | 兼容Qulee QCS Ver.4.2及更高版本（Windows 8/10/11） | |||
| 兼容規(guī)范 | CE | |||
選項(xiàng)
| 分析管 | CGM-AN51 | CGM（2）-051/101 共享 |
| 分析管 | CGM-AN52 | CGM（2）-052/102 共享 |
| 離子源 | CGM-IS01 | CGM（2） 兼容所有型號(hào) |
| 次級(jí)電子倍增管 | CGM-EM01 | CGM（2）-052/102 共享 |
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