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日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計(jì) 型號：SH200-A，這是換能器型“G-TRAN多離子計(jì)"的新型型號，可連接不同測量范圍的儀器。該產(chǎn)品為B-A型電離真空計(jì)，能夠測量超高真空。在繼承了傳統(tǒng)寬范圍壓力測量和低運(yùn)行成本的理念的同時，它做出了更為用戶友好的改進(jìn)。

產(chǎn)品介紹

日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)型號：SH200-A

日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)型號：SH200-A

冷陰極電離真空計(jì)是一種利用氣體電離現(xiàn)象的真空計(jì)。

特色

可以連接不同測量范圍的傳感器：采用多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇儀表。
緊湊型：與之前車型相比，體積顯著縮?。刂破黧w積減少56%）
提升可用性：允許設(shè)置點(diǎn)并通過電腦/智能手機(jī)連接查詢狀態(tài)
產(chǎn)品線擴(kuò)展：除了模擬輸出規(guī)范（SH200-A）和串行通信規(guī)范（SH200-R）外，還新增了EtherCAT規(guī)范（SH200-E）。
耗材壽命通知功能：允許您通過耗材功率監(jiān)測提前通知耗材壽命。
廣泛的壓力測量：從大氣壓到高真空范圍（1×10⁺⁵~5×10^-8當(dāng)連接可選單元 SWU10-R 時，可以進(jìn)行 Pa）測量
準(zhǔn)確的大氣壓測量：當(dāng)連接可選單元SAU時，可以檢查大氣壓是否打開了腔室。

目的

用于各種制造設(shè)備（包括半導(dǎo)體和電子元件）高真空范圍內(nèi)的過程控制，
用于確認(rèn)各種制造設(shè)備在高真空范圍內(nèi)達(dá)到的壓力，這些設(shè)備擁有多個工藝間，如直列式和單葉片型，
用于高真空和超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)格

類型		SH200-A	SH200-R	SH200-E
規(guī)格		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串行通信規(guī)范	EtherCAT 規(guī)格
自適應(yīng)多離子儀表傳感器		M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
可連接傳感器		多離子壓力表傳感器：一塊 Pirani 儀器 SWU10-R：一塊（可選）大氣壓力傳感器 SAU：一塊（可選）
重復(fù)性（_{N 2}）		SH200 獨(dú)立模式：±2%
采樣時間		60毫秒，5個移動平均處理周期
測量輸出		輸出電壓直流 0~10V LOG輸出 0.75V / 一位數(shù) 壓力轉(zhuǎn)換公式：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL開關(guān)，F(xiàn)IL 1/2，脫氣開關(guān) ，使用開集電極輸入，負(fù)邏輯 * FIL開關(guān)信號根據(jù)模式不同使用方式不同	-	-
控制輸出信號		傳感器誤差，設(shè)定點(diǎn)1/2/3，發(fā)射量變化，燈絲功率監(jiān)測額定值：24V MAX，50mA_MAX，飽和電壓1V	-	-
串行通信規(guī)范		-	RS232C/RS-485	以太貓
LED顯示屏		電源/錯誤：電源，錯誤指示燈（閃爍狀態(tài)因模式而異）
		SET 1：Set Point 1 LED SET 2：Set Point 2 LED SET 3：Set Point 3 LED	-	-
發(fā)射電流		1mA（1×10）^-3Pa或更小），10μA（1×10）^-3Pa及以上）
德加		電子沖擊脫離法（電子轟炸）1mA，330V
傳感器耐受電壓		2×10⁺⁵Pa（絕對壓力）* 法蘭和夾具的耐壓性必須單獨(dú)考慮
傳感器體積		17厘米³（M-44），19厘米³（M-45），17厘米³（M-46）
工作溫度范圍		10~50°C
工作濕度范圍		15~80%（前提是無冷凝）
儲存溫度		-20~65°C（未通電時無冷凝）
知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級		IP30
電源電壓		DC20~28V（紋波，噪聲低于1%），8瓦或更低
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺紋）
質(zhì)量		控制器：約280克，米（M-44，M-45）：80克，（M-46）：300克
外部尺寸：×D×H		69毫米×63毫米×90毫米（控制器部分）
兼容規(guī)范		CE
選項(xiàng)	多離子規(guī)范傳感器	M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）材料：耗材1,2 - 紅外針/Y₂ _O，3層其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar玻璃、Kovar/鎳鍍層
	皮拉尼規(guī)	SWU10-R *兼容傳統(tǒng)SPU
	Pirani儀表傳感器	SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端）材料：線材 - 點(diǎn)焊，其他 - BS/Ni、電鍍、鎳、焊接
	大氣壓傳感器	SAU（NW16）材料：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（針對軟件單位）：0.5米、1米、2米 GUC-200A（用于SAU）：0.5米、1米、2米
	顯示單元	ISG1（不能與SH200-R一起使用）
	顯示單元線纜	SH200-A - ISG1電纜：2米、5米、10米、15米、20米、25米、30米、35米、40米
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6毫米螺紋））
	其他	檢驗(yàn)報告報告、綜合校準(zhǔn)考試成績報告、JCSS校準(zhǔn)證書

各模式的規(guī)格

SH200-A/SH200-R/SH200-E可選擇三種使用模式：多O軌獨(dú)立模式、帶皮拉尼儀表的組合模式，以及帶皮拉尼儀表和大氣壓力傳感器的三聯(lián)組合模式。

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 獨(dú)立模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 組合模式
測量壓力范圍	5.0×10^-8~1.0×10⁺¹爸	5.0×10^-8~1.0×10⁺⁵爸	5.0×10^-8~1.0×10⁺⁵爸
測量精度	5.0×10^-8~1.0×10⁺¹賓夕法尼亞州： ±15%	5.0×10^-8~4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1~3.0×10⁺⁰Pa：±10~±15% 3.0×10⁺⁰~1.0×10⁺⁴爸：±10% 1.0×10⁺⁴~1.0×10⁺⁵PA：±20%	5.0×10^-8~4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1~3.0×10⁺⁰Pa：±10~±15% 3.0×10⁺⁰~1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴~3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.（3.0×10⁺³Pa（標(biāo)準(zhǔn)溫度：25°C）
連接圖像
測量壓力范圍圖像	三聯(lián)機(jī)用于需要“大氣壓"時，如開膛時。

PC/智能手機(jī)連接圖像

應(yīng)用軟件“UL-MOBI"

針對PC	點(diǎn)擊這里下載ULVAC展示（網(wǎng)站）
針對智能手機(jī)	從Google Play下載

支持的設(shè)備

個人電腦	Windows 10 64位及更高版本
智能手機(jī)	Android 6及以上，USB Type-C

訂單代碼

* 未列出的組合請聯(lián)系零售商。

主體	測量亞單位類型	擬合類型	訂單代碼
SH200-A（模擬輸出規(guī)范）	M-44	NW16	210006962800
	M-45	NW25	210006962900
	M-46	ICF070	210006963000
	無測量探頭	－	210006963100
SH200-A + Pirani SWU10-R 組合（5米單元電纜）	M-44/SWP-16	NW16/NW16	210006969400
	M-45/SWP-25	NW25/NW16	210006969500
	M-46 / SWP-CF16	ICF070/ICF034	210006969600
SH200-R（串行通信規(guī)范）	M-44	NW16	210006963500
	M-45	NW25	210006963600
	M-46	ICF070	210006963700
	無測量探頭	－	210006963800