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宮崎科技（廈門）有限公司
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EV-S50P/N低功耗干式真空泵
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-S50P/N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：9更新時間：2026-06-15 11:07:47
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設(shè)計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓(xùn)可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升
產(chǎn)品介紹
EBARA在干式真空泵方面的優(yōu)勢
節(jié)能且緊湊的設(shè)計。令人安心的全球支持和豐富的產(chǎn)品線
Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。獨特優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計提升了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計，能夠在有限空間內(nèi)安裝，且易于搬運。我們已在全球出貨超過20萬臺*，活躍于多個領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴格。
此外，我們在全球擁有50多個維修點，提供可靠的全球支持。您可以選擇我們豐富產(chǎn)品線中最合適的車型，從行業(yè)最高標準的緊湊輕量車型，到氫氣排氣車型，以及兼容產(chǎn)生反應(yīng)性副產(chǎn)品的高負載兼容車型。
特色與優(yōu)勢
該干式真空泵適用于中等工藝，配備Ebara獨特的節(jié)能技術(shù)，采用優(yōu)化自動化工廠制造的模塊設(shè)計，實現(xiàn)進一步的小型化和節(jié)能。
憑借廣泛的溫度控制能力，它擴展了適用的工藝。同一模型可以涵蓋多個過程;因此，備用機器庫存可以優(yōu)化，維護和培訓(xùn)可以減少，流程未來也能靈活擴展。此外，通過對每個工藝進行溫控，工藝電阻也得以提升，并通過延長零件更換周期來降低TCoO。
適用的應(yīng)用包括各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延等。
日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵
日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵
EV-S 型號
干式真空泵，功耗低，占地面積小
低功耗
緊湊輕便
耐腐蝕材料選項
N2 清除模型選項可選
無論頻率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
無油
可獲得CE認證/半級S2/NRTL認證
特色與優(yōu)勢
憑借EBARA獨特的轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能，Model EV-S系列實現(xiàn)了能源效率和小巧的占地面積。有助于降低運行成本。憑借增強的耐腐蝕選項，該型號涵蓋從輕載工藝如負載鎖和SEM到腐蝕工藝的廣泛應(yīng)用。
規(guī)格
類型 單位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N 冷卻水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 溫度 °C 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 最多30人 電源 功率容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8 抽水速度 L/min 1670 1670 3300 3300 5000 5000 10000 10000 20000 20000 壓力 3 5 0.5 1 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 連接 入?？?/td> NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100 出口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40 極限壓力下的近似功率 千瓦 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75 N2 流量 Pa•m3/s - 17~20（2.4） - 17~20（2.4） 17~20（2.4） 17~20（2.4） 17~20（2.4） 電源相位/電壓/頻率。 200V型號 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200-220V，50/60Hz 400V型號 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz - - 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-440V，50/60Hz 重量 KG 60 60 90 90 100 100 120 120 170 170 *規(guī)格僅為示例。具體情況可能因車型而異
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