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| 參考價(jià): | ¥ 12545 |
| 訂貨量: | 1件 |
- RBH--16 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù):88更新時間:2026-03-28 15:59:19
馮女士
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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
| 序列號 | 137,1703,2088 |
簡便的安裝方式可顯著縮短再生時間。
它有助于排出廢水,從而縮短低溫泵再生過程中的加熱和粗抽時間。
貨期短日本ULVAC真空泵冷凍泵RBH-16
貨期短日本ULVAC真空泵冷凍泵RBH-16

冷凍泵
型號:RBH-16
簡便的安裝方式可顯著縮短再生時間。
它有助于排出廢水,從而縮短低溫泵再生過程中的加熱和粗抽時間。
核心定位與功能
再生加熱專用:僅在冷凍泵 “再生流程" 中工作,常溫抽氣時不運(yùn)行;加熱冷阱殼體,讓凝結(jié)的水蒸氣 / 可凝性氣體快速融化蒸發(fā),避免結(jié)冰殘留導(dǎo)致下次抽速下降;
薄帶式結(jié)構(gòu),260×1290 mm 尺寸,狹小腔體也能方便纏繞安裝;
分檔電流設(shè)計(jì),啟動峰值 5.0 A、穩(wěn)態(tài) 0.9 A,兼顧升溫速度與節(jié)能;
適配 AC200V 單相 50/60Hz(也可兼容 AC100V),全球廠房電網(wǎng)通用。
關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
|---|---|
| 適配冷凍泵 | U16、U16P(CRYO-U16 系列) |
| 外形尺寸 | 260 × 1290 mm |
| 工作電流 | 峰值 5.0 A;穩(wěn)態(tài) 0.9 A |
| 推薦保險(xiǎn)絲 | 10 A |
| 電源要求 | AC 200 V 單相 50/60 Hz(兼容 AC 100 V) |
| 安裝方式 | 環(huán)形纏繞在冷凍泵冷阱外殼,配套夾具固定 |

適用場景與工作邏輯
典型行業(yè):半導(dǎo)體晶圓沉積、真空濺射、平板顯示(FPD)、光學(xué)鍍膜、電子顯微鏡、太空環(huán)境模擬艙;
工作流程:冷凍泵達(dá)到飽和→停機(jī)隔離→開啟 RBH-16 加熱→水汽 / 氣體蒸發(fā)→前級泵粗抽排出→降溫重啟抽氣;
若不裝加熱器,再生時間常延長數(shù)小時,且易有冰堵,嚴(yán)重影響產(chǎn)線稼動率。
安裝、維護(hù)與選型要點(diǎn)
安裝注意:必須斷電安裝;帶體與冷阱外殼貼合均勻,嚴(yán)禁局部擠壓 / 褶皺;接線端子密封防潮,避免真空腔外漏電;嚴(yán)禁在加熱時觸碰帶體,防止?fàn)C傷;
維護(hù)周期:每 6 個月檢查一次帶體絕緣電阻、接線緊固性;每年送 ULVAC 授權(quán)站或具備電氣絕緣資質(zhì)機(jī)構(gòu)檢測;若出現(xiàn)加熱不均、升溫變慢,立即更換加熱器;
選型區(qū)分:RBH-16 對應(yīng) 16 型(U16)冷凍泵;不要與 RBH-12(U12)、RBH-20(U20P/U20H)等小 / 大型號混用;
安全防護(hù):必須配合溫度控制器與過流保護(hù);嚴(yán)禁無控溫長期加熱,防止冷阱外殼變形。







