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宮崎科技（廈門）有限公司
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CRYO--U10HSP日本ULVAC愛發(fā)科真空泵冷凍泵CRYO-U10HSP
| 參考價: | ￥ 7565 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- CRYO--U10HSP 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：56更新時間：2026-03-24 14:46:22
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
| 序列號 | 137，1703，2088 |
ULVAC Cryo 已廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能、核聚變和航天開發(fā)等各個領(lǐng)域，并積累了豐富的經(jīng)驗
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC愛發(fā)科真空泵冷凍泵CRYO-U10HSP
日本ULVAC愛發(fā)科真空泵冷凍泵CRYO-U10HSP
ULVAC Cryo 已廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能、核聚變和航天開發(fā)等各個領(lǐng)域，并積累了豐富的經(jīng)驗。
外形尺寸（單位：毫米）
ULVAC CRYO?U10HSP 是愛發(fā)科 10 英寸二段式 G?M 低溫泵，SP = Sputtering Process（濺射工藝專用），核心是氬氣容量翻倍、氫氣抽速提升、再生周期顯著延長，專為中大型 PVD / 濺射產(chǎn)線設(shè)計。
一、核心定位與型號含義
型號含義：10 = 10 英寸冷頭；H = 高性能；SP = 濺射工藝專用。
核心定位：在標(biāo)準(zhǔn) CRYO?U10H 基礎(chǔ)上，Ar 容量 ×2、H?抽速提升，適配高 Ar 流量、長連續(xù)運行的中大型濺射 / PVD 場景。
極限真空：1×10?? Pa（1×10?? Torr），無油潔凈。
二、關(guān)鍵規(guī)格參數(shù)（20℃）
表格
| 參數(shù) | CRYO?U10HSP | 標(biāo)準(zhǔn) CRYO?U10H | 提升幅度 |
|---|---|---|---|
| 抽速（L/s） | N?：2400；H?：3600；Ar：2000；H?O：6900 | N?：2400；H?：3600；Ar：2000；H?O：6900 | — |
| 極限壓力 | 1×10?? Pa | 1×10?? Pa | — |
| zui大流量 | Ar：1.3×103 Pa·L/s；H?：1.5×102 Pa·L/s | Ar：8.0×102 Pa·L/s；H?：1.5×102 Pa·L/s | Ar +62.5% |
| 排氣容量 | Ar：2.0×10? Pa·L；H?：1.2×10? Pa·L | Ar：1.0×10? Pa·L；H?：6.7×10? Pa·L | Ar +100%；H? +79% |
| 冷卻時間 | 120 min（50 Hz）/ 110 min（60 Hz） | 110/100 min | — |
| 法蘭 | UVG?250、10B ANSI | 同左 | — |
| 配套壓縮機(jī) | C15T | C15R | — |
| 重量 | 36.0 kg | 29.0 kg | +24% |
| 維護(hù)周期 | 16,000 小時 | 16,000 小時 | — |
三、核心技術(shù)特點（SP 專屬）
濺射工藝深度優(yōu)化
氬氣容量翻倍：Ar 容量達(dá) 2.0×10? Pa·L，是 U10H 的2 倍，再生周期延長約 1 倍，大幅提升設(shè)備稼動率。
氫氣抽速 / 容量雙提升：H?容量 1.2×10? Pa·L，比 U10H 高79%，適配含氫濺射 / ALD 工藝。
zui大 Ar 流量提升：Ar zui大流量 1.3×103 Pa·L/s，比 U10H 高62.5%，適配高功率、大流量濺射。
安裝與控制兼容
法蘭、接口與 U10H wan全互換，可直接替換升級。
支持 MBD?S/MBD?T + MBS?C 測溫，適配現(xiàn)有控制系統(tǒng)。
支持最多 3 臺并聯(lián)，滿足超大腔體濺射需求。
無油潔凈超高真空
全電驅(qū)動，無油蒸汽污染，滿足半導(dǎo)體、顯示、光學(xué)鍍膜的潔凈要求。
極限真空 1×10?? Pa，保障薄膜均勻性與良率。
四、典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體：中大型金屬化、鈍化、barrier 層、TSV 濺射
顯示：FPD、OLED、Mini?LED 中大型電極 / 薄膜濺射產(chǎn)線
光伏：大尺寸硅片 TCO、背電極、金屬柵線 PVD
光學(xué)：大面積光學(xué)鍍膜、低輻射膜、導(dǎo)電膜 連續(xù)鍍膜
裝飾 / 工具：硬質(zhì)涂層、裝飾膜 中大型量產(chǎn)線
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