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什么是硅晶圓?
硅晶圓是一種盤(pán)狀材料,作為半導(dǎo)體產(chǎn)品的基板。 它也寫(xiě)作“wafer"或“wafer"。
它由薄切片的單晶硅錠組成,表面形成細(xì)小的電子電路,為制造半導(dǎo)體器件(如集成電路)和大規(guī)模集成電路(LSI)等奠定基礎(chǔ)。 它是一種極其重要且前沿的材料,從根本上支撐著現(xiàn)代電子工業(yè)的發(fā)展。
硅晶圓的應(yīng)用
硅晶圓被用作各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的基板,并廣泛應(yīng)用于以下幾類(lèi):
信息與通信設(shè)備:安裝在智能手機(jī)、電腦、服務(wù)器及類(lèi)似設(shè)備上的CPU和存儲(chǔ)芯片。
出行:汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)控制、先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)和電動(dòng)汽車(chē)(電動(dòng)車(chē))的電力半導(dǎo)體。
工業(yè)設(shè)備及其他:人工智能處理芯片、工業(yè)機(jī)器人控制單元、太陽(yáng)能電池板基底。
硅晶圓原理
硅晶圓底下的半導(dǎo)體性能由極純硅(Si)的單晶結(jié)構(gòu)產(chǎn)生。
作為原材料的硅是地球上僅次于氧氣和自然界中石英(硅氧化物:SiO)的第二大豐富元素2)以及其他形式。 制造硅晶圓時(shí),需要減少并精煉特定“生產(chǎn)區(qū)"(如美國(guó)北卡羅來(lái)納州)開(kāi)采的高純度石英,以生產(chǎn)純度達(dá)到99.999999999%的超高純度多晶硅(十一九)。 該原理是通過(guò)在高溫下熔化這些多晶體,并將其提升為完q全規(guī)律的“單晶錠",從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的精確電控。
硅晶圓的類(lèi)型
硅晶圓根據(jù)制造工藝和所添加雜質(zhì)大致分為幾種類(lèi)型。
1. 按制造工藝分類(lèi)的類(lèi)型
有些晶圓采用了主流的“CZ工藝(Choklarski工藝)",適用于較大直徑,也有采用極g高純度“FZ工藝(浮區(qū)法)"制造的晶圓,雜質(zhì)污染極少。
2. 按導(dǎo)電類(lèi)型分類(lèi)
由于單純硅導(dǎo)電不易,當(dāng)拉起錠時(shí)會(huì)加入少量雜質(zhì)(摻雜物)。 有兩種類(lèi)型:含有硼的“P型"和添加磷及其他添加劑的“N型"。
如何選擇硅晶圓
在半導(dǎo)體制造中,根據(jù)器件設(shè)計(jì)和生產(chǎn)線規(guī)格選擇晶圓至關(guān)重要。
尺寸選擇(直徑):過(guò)去150毫米(6英寸)和200毫米(8英寸)是主流,但為了增加一次可制造的芯片數(shù)量并降低成本,更大直徑變得更為常見(jiàn)。目前,先進(jìn)生產(chǎn)線的標(biāo)準(zhǔn)是300毫米(12英寸),具有較高的批量生產(chǎn)效率。
晶體取向指定:由于原子密度取決于硅單晶錠的切割面,切片時(shí)會(huì)指定“晶體取向",如100面或111面。 這是一個(gè)極其重要的選擇標(biāo)準(zhǔn),直接關(guān)聯(lián)器件的電氣特性和蝕刻過(guò)程。
電阻率規(guī)格:根據(jù)目標(biāo)器件的要求調(diào)整P型和N型摻雜濃度,選擇電阻率最佳的晶圓。

