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在半導(dǎo)體制造、電子元件加工、工業(yè)爐體設(shè)備、生物醫(yī)藥及石油能源等行業(yè)的低真空工藝場景中,穩(wěn)定、低成本、易集成的真空檢測單元是產(chǎn)線工藝控制的核心配件。日本ULVAC愛發(fā)科SP1皮拉尼真空計(jì),屬于G-TRAN系列經(jīng)典傳感器單元,采用一體化集成結(jié)構(gòu),無需配套壓力指示器即可獨(dú)立完成真空監(jiān)測與點(diǎn)位控制,憑借小巧體積、便捷維護(hù)、高穩(wěn)定性的優(yōu)勢,成為各類自動(dòng)化真空設(shè)備配套的主流選型,有工況適配、批量采購、技術(shù)配套需求均可咨詢對接。
SP1真空計(jì)最大的核心優(yōu)勢為測定子與電路一體化可更換結(jié)構(gòu)。區(qū)別于傳統(tǒng)分體式真空檢測設(shè)備,該機(jī)型將測量電路與傳感單元集成一體,極大節(jié)省設(shè)備控制面板安裝空間,簡化現(xiàn)場布線流程,有效降低整套真空檢測系統(tǒng)的采購與運(yùn)維成本。同時(shí)支持探頭單獨(dú)更換,兼容WP-01、WP-02、WP-03、WP-16多款經(jīng)典傳感器頭,老舊設(shè)備可直接適配替換,兼容性出色,大幅降低設(shè)備升級(jí)與維護(hù)成本。
產(chǎn)品采用工業(yè)級(jí)耐用配置,核心檢測燈絲選用耐腐蝕鉑金材質(zhì),抗老化、抗污染、耐疲勞性能優(yōu)異,可長期適配工業(yè)復(fù)雜真空工況,有效延長設(shè)備使用壽命,減少頻繁故障與校準(zhǔn)頻次。設(shè)備搭載雙設(shè)定點(diǎn)輸出功能,支持兩路壓力信號(hào)獨(dú)立設(shè)置、調(diào)節(jié)與監(jiān)測,搭配0-5V標(biāo)準(zhǔn)非線性模擬量輸出(最大支持10V),可精準(zhǔn)匹配各類PLC控制系統(tǒng)與自動(dòng)化設(shè)備,輕松實(shí)現(xiàn)真空壓力閉環(huán)控制、閾值報(bào)警、工藝聯(lián)動(dòng)等功能,適配精細(xì)化工藝生產(chǎn)需求。
在實(shí)測性能與參數(shù)配置上,SP1適配常規(guī)低真空檢測場景,測量區(qū)間覆蓋0.4Pa–3000Pa,針對不同壓力區(qū)間精準(zhǔn)匹配對應(yīng)精度標(biāo)準(zhǔn),滿足工業(yè)工藝的基礎(chǔ)檢測精度要求。設(shè)備工作溫度區(qū)間為10℃-40℃,適配常規(guī)車間與實(shí)驗(yàn)室恒溫作業(yè)環(huán)境。供電采用工業(yè)通用DC24V直流供電,功耗低、運(yùn)行穩(wěn)定,配備標(biāo)準(zhǔn)D-sub-15P接線接口,接線規(guī)整、安裝便捷,適配各類設(shè)備集成安裝。
設(shè)備自帶LED狀態(tài)顯示功能,可實(shí)時(shí)展示設(shè)備供電狀態(tài)、運(yùn)行故障、雙設(shè)定點(diǎn)工作狀態(tài),設(shè)備運(yùn)行情況一目了然,方便現(xiàn)場人員快速排查問題、調(diào)試參數(shù)??刂戚敵霾捎瞄_集電極負(fù)邏輯輸出,適配主流工業(yè)控制信號(hào)協(xié)議,適配性廣、抗干擾性能穩(wěn)定。整機(jī)輕量化設(shè)計(jì),不含傳感頭僅重190g,體積小巧、安裝靈活,適配在線式、枚葉式多腔體工藝設(shè)備的緊湊安裝場景。

