一、主要適用行業(yè)
?半導(dǎo)體制造?

用于化學(xué)液體供藥、單片清洗、光刻膠輸送及CMP（化學(xué)機械拋光）工藝。
FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等強腐蝕性化學(xué)品，確保晶圓表面潔凈度達ISO Class 1標準。
FLP系列低脈動設(shè)計，適用于對流量穩(wěn)定性要求的單晶圓處理過程。
?醫(yī)療與化學(xué)分析?

氣動隔膜泵用于高純試劑輸送，避免交叉污染。
KB系列風囊泵適用于自動分析儀器中的微量藥液添加。
?新能源產(chǎn)業(yè)?

支持燃料電池、二次電池（如鋰電池）和太陽能電池生產(chǎn)中的化學(xué)品循環(huán)與供給系統(tǒng)。
?PCB（印刷電路板）與電鍍行業(yè)?

用于酸堿液輸送、表面處理液循環(huán)，MDM系列PFA型號可將污染物析出降至。
?食品加工與制藥?

KB/KBA/KBR系列結(jié)構(gòu)緊湊、無泄漏，符合衛(wèi)生標準，適用于食品機械與藥品配液系統(tǒng)。
?環(huán)保與水處理?

TC-X系列氣動隔膜泵用于工業(yè)污水、市政污水處理，具備耐酸堿、耐腐蝕特性。
二、核心產(chǎn)品系列介紹
1. ?半導(dǎo)體氣動風囊泵（FS系列）?
?代表型號?：FS-80NT、FS-100NF
?特點?：
吐出量達100L/min，適用于大流量高壓力場景。
過流部件全采用PTFE/PFA氟樹脂材料，杜絕金屬離子污染。
內(nèi)置接近傳感器與漏液檢測功能，支持自動化控制。
工作溫度范圍5~60°C，氣源壓力0.7MPa。
2. ?低脈動氣動風囊泵（FLP系列）?
?代表型號?：FLP-60W、FLP-75W
?優(yōu)勢?：
脈動范圍低至0.06MPa，無需外接阻尼器，節(jié)省空間與成本。
可輸送高粘度光刻膠，適用于LED、MEMS等精密工藝。
耐溫達180°C，適應(yīng)高溫工況下的穩(wěn)定運行。
3. ?經(jīng)濟型風囊泵（KB系列）?
?代表型號?：KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z
?應(yīng)用場景?：
小流量、低壓力場合，如照片沖洗、自動分析儀、食品加工設(shè)備中的定量加藥。
結(jié)構(gòu)簡單、維護方便，適合OEM設(shè)備配套使用。
4. ?氣動隔膜泵（TC-X系列）?
?特點?：
流量范圍廣（8~950L/min），適用于低粘度至高粘度液體輸送。
IP66防護等級，防爆設(shè)計，適用于易燃易爆環(huán)境。
全塑料泵體，耐酸堿腐蝕，適合工業(yè)污水處理。
5. ?高精度半導(dǎo)體專用泵（PDS-H115系列）?
?性能參數(shù)?：
吐出精度達12mLot，支持高粘度液體（10,000mPa·s）。
高壓輸出（1.0MPa），保障供藥系統(tǒng)穩(wěn)定性。
廣泛用于光刻膠、顯影液等高價值化學(xué)品的精準輸送。
三、技術(shù)優(yōu)勢總結(jié)