山本鍍金 電鍍設(shè)備 硅片水槽 溢流穩(wěn)

A-52-ST 旋轉(zhuǎn)電鍍系統(tǒng)核心基體槽體配件，后綴數(shù)字區(qū)分 2/4/6/8/12 英寸適配規(guī)格；專屬匹配P02B/P02C 單面密封陰極卡匣做單面電鍍，區(qū)別 A-52-STD 雙面電鍍水槽，是整套單面晶圓電鍍的盛裝載體，不可獨(dú)立使用，搭配陽極架、攪拌槳、電源、溫控、液位組件構(gòu)成完整電鍍單元

山本鍍金 電鍍設(shè)備 硅片水槽 溢流穩(wěn)

單面電鍍專屬構(gòu)型

腔體內(nèi)部空間匹配 P02B/P02C 密封型陰極卡匣布局，電場、流場針對單面沉積優(yōu)化，適配背面隔絕式電鍍工藝，無法直接做雙面同步電鍍

雙層底溢流循環(huán)結(jié)構(gòu)

槽底布液進(jìn)流、外圈溢流回流，持續(xù)更新槽內(nèi)藥液，抵消水分蒸發(fā)液位變化，陰極浸入深度恒定，多組平行試驗(yàn)一致性強(qiáng)

內(nèi)置循環(huán)過濾配置

可搭載 0.5μm 精密濾芯循環(huán)過濾，截留陽極碎屑、藥液顆粒，杜絕晶圓針孔、麻點(diǎn)缺陷，延長鍍液使用壽命。

兩種耐蝕材質(zhì)可選

亞克力款：耐熱≤65℃，適配常規(guī)酸堿電鍍液，透明度高便于觀察槽內(nèi)狀態(tài)、液面高度

PP 聚丙烯款：耐強(qiáng)腐蝕、耐溫性更優(yōu)，適配高腐蝕性特殊鍍液工況

原廠模塊化精準(zhǔn)適配

槽體開孔、安裝位一對一匹配 P09 陽極支架、P04D 往復(fù)攪拌槳、槽體專用加熱棒、A-60 液位傳感器，整套裝配無需改制調(diào)試，兼容 A-57 系列電鍍電源、B-93 溫控系統(tǒng)

流場優(yōu)化適配高深孔填充

配合往復(fù)槳葉攪拌 + 晶圓旋轉(zhuǎn)，微孔內(nèi)部藥液置換效率高，改善 TSV 盲孔、微結(jié)構(gòu)單面填充效果，削弱邊緣電流集中效應(yīng)。