山本鍍金 電鍍設(shè)備   雙面流

A-52-ST 系列頂配強攪拌雙面旋轉(zhuǎn)晶圓電鍍槽，為同系列標準版升級款；ST 代表旋轉(zhuǎn)電鍍結(jié)構(gòu)，LAAS = 雙面溢流強攪拌構(gòu)型、SO 對應(yīng)單面電鍍密封夾具配置，是 TSV 高深寬比填孔、厚凸點電鍍專項研發(fā)專用槽體，適配 A-57 系列精密電鍍電源、B-93 系列溫控、A-60/A-61 液位組件，構(gòu)成原廠整套半導(dǎo)體精密電鍍系統(tǒng)。

山本鍍金 電鍍設(shè)備   雙面流

雙面溢流強攪拌架構(gòu)（核心優(yōu)勢）

雙溢流口設(shè)計，槳葉最高轉(zhuǎn)速 130rpm，攪拌流量約為普通單溢流槽 2 倍，槽內(nèi)對流強度大幅提升，快速更新微孔、深孔內(nèi)部鍍液，抑制濃差極化，適配高深寬比 TSV 填孔工藝。

SO 單面密封電鍍構(gòu)型

配套單面絕緣密封陰極夾具，晶圓僅單面有效電鍍，邊緣爬鍍、側(cè)邊漏電抑制效果優(yōu)異，精準管控單面鍍層厚度，適配 UBM 底層、RDL 布線單面電鍍研發(fā)。

晶圓自轉(zhuǎn) + 槳葉攪拌雙動對流

晶圓 0~80rpm 可調(diào)旋轉(zhuǎn) + 往復(fù)槳葉擾動雙重流場，全域流場均勻，整片晶圓膜厚均勻性大幅提升，消除邊緣與中心鍍層偏差。

循環(huán)過濾凈化系統(tǒng)

內(nèi)置 0.5μm 精密循環(huán)過濾，持續(xù)過濾鍍液顆粒雜質(zhì)，避免針孔、麻點不良，延長鍍液使用壽命，滿足精密電鍍潔凈要求。

恒液面溢流設(shè)計

槽體液位自動溢流穩(wěn)壓，抵消蒸發(fā)損耗，陰極浸入深度恒定，多次實驗電流密度一致，數(shù)據(jù)可比性強。

原廠全系統(tǒng)兼容匹配

適配 A-57-15031WA/15100WA 精密電鍍電源、B-93-YPT/YTC 系列溫控器、A-60 液位傳感器、A-61 補液控制器，接線即可聯(lián)動溫控、低液位防干燒、自動補液功能。