當前位置:北崎國際貿易(北京)有限公司>>YAMAMOTO山本鍍金>>電鍍設備>> A-53-M1-P07-1015YAMAMOTO山本鍍金 電鍍設備 陽極治具1
YAMAMOTO山本鍍金 電鍍設備 陽極治具1
這是一款無需使用泵類設備,僅借助磁力攪拌器即可實現(xiàn)溢流循環(huán)的創(chuàng)新型水槽。循環(huán)流量可自由調節(jié),且極為節(jié)省空間。特別適用于硅片芯片鍍膜、凸點鍍膜等基礎實驗。標配用于晶圓芯片的專用夾具。智能電池的結構
將智能槽置于磁力攪拌器上,通過旋轉攪拌子進行使用。如圖所示,采用溢流循環(huán)方式,即使鍍液發(fā)生蒸發(fā),也能使鍍區(qū)的液面保持恒定,從而實現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面
YAMAMOTO山本鍍金 電鍍設備 陽極治具1
智能電池的結構
將智能槽置于磁力攪拌器上,通過旋轉攪拌子進行使用。如圖所示,采用溢流循環(huán)方式,即使鍍液發(fā)生蒸發(fā),也能使鍍區(qū)的液面保持恒定,從而實現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面積。
水槽容量分為500毫升和1000毫升兩種規(guī)格。
500毫升規(guī)格可安裝10×15毫米的夾具,1000毫升規(guī)格則可同時安裝10×15毫米和30×30毫米兩種夾具。
水槽容量及夾具尺寸的變更均可按特殊訂制要求辦理。
智能電池的結構
將智能槽置于磁力攪拌器上,通過旋轉攪拌子進行使用。如圖所示,采用溢流循環(huán)方式,即使鍍液發(fā)生蒸發(fā),也能使鍍區(qū)的液面保持恒定,從而實現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面
電鍍槽體
透明亞克力材質,自帶溢流回流腔;分 500/1000mL;高溫工況可選玻璃槽 A-56-0500G適配加熱攪拌一體臺。
陰極治具
硅晶圓 / 芯片樣品夾持件,導電接觸穩(wěn)定,限定電鍍區(qū)域,防止邊緣漏鍍。
陽極組件
陽極鈦 / 鉑電極 + PP 濾袋,阻擋陽極雜質顆粒污染晶圓鍍層。
加熱溫控系統(tǒng)
浸入式探棒加熱,PID 恒溫控制,適配金、銅、鎳凸點電鍍恒溫工藝。
磁力攪拌器
槽底攪拌子強制藥液循環(huán),消除晶圓表面濃差極化。
選配擺動裝置
陰極往復小幅擺動,進一步優(yōu)化晶圓平面鍍層厚度均勻性。
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