YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備 智能電池 

這是一款無需使用泵類設(shè)備，僅借助磁力攪拌器即可實(shí)現(xiàn)溢流循環(huán)的創(chuàng)新型水槽。循環(huán)流量可自由調(diào)節(jié)，且極為節(jié)省空間。特別適用于硅片芯片鍍膜、凸點(diǎn)鍍膜等基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)。標(biāo)配用于晶圓芯片的專用夾具。智能電池的結(jié)構(gòu)

將智能槽置于磁力攪拌器上，通過旋轉(zhuǎn)攪拌子進(jìn)行使用。如圖所示，采用溢流循環(huán)方式，即使鍍液發(fā)生蒸發(fā)，也能使鍍區(qū)的液面保持恒定，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備 智能電池 

智能電池的結(jié)構(gòu)

將智能槽置于磁力攪拌器上，通過旋轉(zhuǎn)攪拌子進(jìn)行使用。如圖所示，采用溢流循環(huán)方式，即使鍍液發(fā)生蒸發(fā)，也能使鍍區(qū)的液面保持恒定，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面積。

水槽容量分為500毫升和1000毫升兩種規(guī)格。

500毫升規(guī)格可安裝10×15毫米的夾具，1000毫升規(guī)格則可同時(shí)安裝10×15毫米和30×30毫米兩種夾具。

水槽容量及夾具尺寸的變更均可按特殊訂制要求辦理。

智能電池的結(jié)構(gòu)

將智能槽置于磁力攪拌器上，通過旋轉(zhuǎn)攪拌子進(jìn)行使用。如圖所示，采用溢流循環(huán)方式，即使鍍液發(fā)生蒸發(fā)，也能使鍍區(qū)的液面保持恒定，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電流分布并維持穩(wěn)定的鍍覆面

電鍍槽體

透明亞克力材質(zhì)，自帶溢流回流腔；分 500/1000mL；高溫工況可選玻璃槽 A-56-0500G適配加熱攪拌一體臺(tái)。

陰極治具

硅晶圓 / 芯片樣品夾持件，導(dǎo)電接觸穩(wěn)定，限定電鍍區(qū)域，防止邊緣漏鍍。

陽極組件

陽極鈦 / 鉑電極 + PP 濾袋，阻擋陽極雜質(zhì)顆粒污染晶圓鍍層。

加熱溫控系統(tǒng)

浸入式探棒加熱，PID 恒溫控制，適配金、銅、鎳凸點(diǎn)電鍍恒溫工藝。

磁力攪拌器

槽底攪拌子強(qiáng)制藥液循環(huán)，消除晶圓表面濃差極化。

選配擺動(dòng)裝置

陰極往復(fù)小幅擺動(dòng)，進(jìn)一步優(yōu)化晶圓平面鍍層厚度均勻性。