用于 A?53 系列 300mL 小型晶圓電鍍槽，適配硅片 / 芯片凸點、UBM 等微量精密電鍍實驗

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備 氣泵

額定輸出：DC48V / 50W（必須配 YTC300

全長：135mm山本鍍金試験器

管徑：8mm（細管，適配微型槽）

發(fā)熱段：50mm（浸入液面即可）

外殼材質(zhì)：PFA（耐酸堿、耐腐蝕）

安全保護：內(nèi)置溫度保險絲（80℃），防干燒 / 過熱

最高使用溫度：≤65℃（硅片電鍍常用）

適配槽體：A-53-M1-P01W（300mL IW 型）、A-53-M2-P01W（500mL IIW 型）

適配溫控器：B-93-YTC300（DC48V/300W PID 溫控器）

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備 氣泵

安全保護（核心賣點）

干燒保護：液位 / 溫度異常自動斷電

過熱保護：內(nèi)置溫度保險絲（70℃）

加熱器異常檢測：電流監(jiān)控，斷線 / 短路即停

漏電保護：內(nèi)置漏電斷路器

傳感器故障檢測：Pt100 斷線 / 接觸不良報警

基礎(chǔ)實驗套裝：

槽體：A-53-M1-P01W（300mL IW 型）

加熱器：A-53-M1-P05WB（DC48V/50W）

溫控器：B-93-YTC300（PID 控溫）

攪拌：A-55-PCR200BWA（槳式陰極搖桿）

夾具：硅片專用夾具（10–50mm 方片 / 切片）

六、使用要點

接線：AC100–230V 輸入，DC48V 輸出接加熱器

安裝：傳感器浸入液面下≥50mm，垂直安裝

設(shè)定：PID 自整定，溫度穩(wěn)定后波動≤±0.1℃

中國使用：直接用（寬電壓），無需變壓器