B-85WJ 是山本鍍金（YAMAMOTO?MS）300W PFA 被覆浸漬式加熱器，專為4 英寸晶圓電鍍槽（A-52?ST4）設(shè)計(jì)，帶內(nèi)置溫度保險(xiǎn)絲，

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備  青島

核心規(guī)格參數(shù)

額定電壓：AC 100V（日本標(biāo)準(zhǔn)）

功率：100W

溫控范圍：室溫～65℃（最高耐溫 70℃）

保護(hù)機(jī)制：內(nèi)置溫度保險(xiǎn)絲（70℃熔斷），防干燒 / 過熱

材質(zhì)：石英玻璃加熱管（耐酸堿）+ 不銹鋼固定支架

尺寸：約 φ20×L210 mm（浸入長度約 180mm）

適配槽體：A-52-ST2-P01A（2 英寸亞克力槽）

配套控制器：B-93-YTC300（PID 溫控器）或 B-85WJ（WJ 系列電源）

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍設(shè)備  青島

功能與用途

加熱鍍液：為 2 英寸晶圓電鍍槽提供均勻、穩(wěn)定的溫度控制，適配金 / 銀 / 鎳 / 銅等精密電鍍工藝

過熱保護(hù)：內(nèi)置溫度保險(xiǎn)絲，干燒 / 超溫自動(dòng)斷電，保護(hù)槽體與鍍液

安裝方式：垂直浸入槽內(nèi)，固定于槽側(cè)支架，不影響陰極 / 陽極布置

功能與特點(diǎn)

用途：承載陽極（鈦籃、貴金屬網(wǎng)狀陽極等），并在晶圓上下方形成對稱電場，保證雙面電鍍均勻性。

結(jié)構(gòu)：上下分體式，背面帶導(dǎo)流槽，優(yōu)化電流分布與藥液流動(dòng)，減少邊緣效應(yīng)。

材質(zhì)：PP / 亞克力（耐酸堿、絕緣、耐腐蝕）。

適配：A?52?ST2/4/6/8/12 整機(jī)，與 P01A（槽體）、P02A（陰極盒）、P04D（攪拌槳）配套使用。

工藝價(jià)值：TSV/UBM/RDL/MEMS 等高深寬比、超薄鍍層制程，膜厚均勻性可達(dá) ±2.5%。