是山本鍍金（YAMAMOTO?MS）B?92?M10 10L 電鍍槽套裝的標(biāo)準(zhǔn)配套電磁式空氣攪拌泵，專為實(shí)驗(yàn)室 10L 小型電鍍槽提供曝氣與藥液攪拌，適配 B?92 系列小型電鍍系統(tǒng)。

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍?cè)O(shè)備 珠海

核心規(guī)格參數(shù)

輸入電壓：AC 100V（日本標(biāo)準(zhǔn)），中國(guó)使用需配 100V 隔離變壓器

功率：13W

最大出氣量：13 L/min（單路）

壓力：約 0.02 MPa（曝氣專用）

尺寸 / 重量：約 170×90×50 mm / 約 1.2 kg

材質(zhì)：外殼 ABS，泵體 PP，耐酸堿腐蝕

工作方式：電磁隔膜式，無油、低噪音（≤50dB）、可 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行

關(guān)鍵特點(diǎn)

雙面同步電鍍：正反面一次完成，均勻性好，適配 TSV/UBM 等三維封裝。

循環(huán)過濾 + 溢流：底部對(duì)流 + 溢流設(shè)計(jì)，減少顆粒污染，鍍液壽命長(zhǎng)。

多材質(zhì)兼容：支持 Si、SiC、GaAs、InP、玻璃等基板。

模塊化設(shè)計(jì)：槽體、夾具、攪拌、電源可自由組合，適配不同工藝。

YAMAMOTO山本鍍金  電鍍?cè)O(shè)備 珠海

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體：TSV 硅通孔填孔、UBM 凸點(diǎn)、RDL 重布線、晶圓級(jí)封裝（WLP）

MEMS：傳感器、執(zhí)行器、微流控器件精密電鍍

功率器件：SiC/GaN 功率芯片背面金屬化、歐姆接觸

科研：鍍液配方開發(fā)、工藝參數(shù)優(yōu)化、小批量試制

功能與特點(diǎn)

用途：承載陽(yáng)極（鈦籃、貴金屬網(wǎng)狀陽(yáng)極等），并在晶圓上下方形成對(duì)稱電場(chǎng)，保證雙面電鍍均勻性。

結(jié)構(gòu)：上下分體式，背面帶導(dǎo)流槽，優(yōu)化電流分布與藥液流動(dòng)，減少邊緣效應(yīng)。

材質(zhì)：PP / 亞克力（耐酸堿、絕緣、耐腐蝕）。

適配：A?52?ST2/4/6/8/12 整機(jī)，與 P01A（槽體）、P02A（陰極盒）、P04D（攪拌槳）配套使用。

工藝價(jià)值：TSV/UBM/RDL/MEMS 等高深寬比、超薄鍍層制程，膜厚均勻性可達(dá) ±2.5%。