特征

產(chǎn)品特征：

●機(jī)械手平臺(tái)可移動(dòng)±50 mm，便于對(duì)齊

●在可移動(dòng)的部件上設(shè)置傳感器，防止誤操作

●更輕量化的設(shè)計(jì) ※與本公司的MA-10比較

●防止面罩掉落的抽板※根據(jù)面罩玻璃規(guī)格制造

●適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附

產(chǎn)品規(guī)格：

*式樣、規(guī)格可能會(huì)有變化，恕不另行通知；

*更多信息歡迎咨詢我們。

大基板尺寸

φ4英寸

大基板厚度

2毫米

大掩模尺寸

5 x 5英寸

照度

>8mW/cm2(At405 Nm)

從遠(yuǎn)紅外線到紫外線，從燈管到鐳射

始于1964年的Ushio，身為工業(yè)用光源制造廠，致力于光源與光學(xué)計(jì)設(shè)的開(kāi)發(fā)及應(yīng)用，并拓展光學(xué)技術(shù)的范圍與深度。其光的技術(shù)，從「照明」領(lǐng)域拓展至高科技產(chǎn)業(yè)與科學(xué)技術(shù)的領(lǐng)域，無(wú)論是「光」或「能源」均廣泛地應(yīng)用，今日從遠(yuǎn)紅外線到真空紫外線、燈管到鐳射與EUV方面，身為具備齊全產(chǎn)品系列的光源制造廠，從半導(dǎo)體或液晶等電子產(chǎn)業(yè)開(kāi)始，到映像、影像、OA、照明領(lǐng)域等方面，受到各界較高的評(píng)價(jià)。

基礎(chǔ)研究

使用各種分析儀器，以進(jìn)行光源開(kāi)發(fā)上必要的材料研究。

各種分析技術(shù)

為了能有效率地進(jìn)行光源材料，光源設(shè)計(jì)以及用途開(kāi)發(fā)，本公司備有各種分析儀器，加上精心設(shè)計(jì)獨(dú)特的裝置及分析技術(shù)，以實(shí)施高精度且'有效率的分析。

光源的光學(xué)特性評(píng)估技術(shù)

可通過(guò)光源開(kāi)發(fā)上之配光測(cè)量，或是真空紫外線到紅外線的分光測(cè)量來(lái)實(shí)施特性評(píng)估。

模擬

開(kāi)發(fā)獨(dú)特的模擬技術(shù)，有助于在光源開(kāi)發(fā)上，測(cè)量與評(píng)斷光源內(nèi)部的熱或氣體的流動(dòng)等。

開(kāi)發(fā)大范圍波長(zhǎng)之各種光源

開(kāi)發(fā)適用于10nm～103nm訂單之燈具與鐳射等各種光源。