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SEC-N100 系列適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該質(zhì)量流量控制器可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列還支持各種通信模式,即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度(+/- 1.0% 設(shè)定點 *1)和高速響應(yīng)。該質(zhì)量流量控制器還具有多氣體/多量程功能,可降低制程成本。
控制范圍廣,從微流到大量程(10 SCCM 至 1000 SLM)
支持多種通信模式和電源
高精度:+/- 1.0% 設(shè)定點 (*1)
1 秒高速響應(yīng)(*1)
多氣體/多量程功能
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