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北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司 供貨
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杭州微納智感科技有限公司是一家專注于微納傳感器領(lǐng)域的高科技企業(yè)。其核心業(yè)務(wù)和所用工藝如下:
主要業(yè)務(wù)方向
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器:設(shè)計(jì)、研發(fā)與銷售,產(chǎn)品涵蓋壓力、加速度、氣體、流量等傳感器。
ASIC(專用集成電路):配套傳感器的信號(hào)調(diào)理與控制芯片設(shè)計(jì)。
微納系統(tǒng)集成:將傳感器、電路及封裝集成為小型化智能模塊或系統(tǒng)。
定制化解決方案:為工業(yè)、汽車、醫(yī)療、消費(fèi)電子等行業(yè)提供微納傳感方案。
核心工藝技術(shù)
該公司運(yùn)用典型的微納加工技術(shù),主要包括:
薄膜沉積:PVD(物理氣相沉積)、CVD(化學(xué)氣相沉積)、原子層沉積等,用于形成電極、敏感層或絕緣層。
光刻與刻蝕:紫外光刻、深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)、反應(yīng)離子刻蝕(RIE)及濕法腐蝕,用于圖形轉(zhuǎn)移和三維結(jié)構(gòu)成型。
摻雜與退火:離子注入或擴(kuò)散工藝,用于調(diào)節(jié)材料的電學(xué)性能。
鍵合技術(shù):陽(yáng)極鍵合、硅-硅共晶鍵合或玻璃漿料鍵合,實(shí)現(xiàn)氣密/真空封裝。
減薄與劃片:化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)、背面減薄及激光/砂輪劃片,以分離和薄化芯片。
封裝與測(cè)試:晶圓級(jí)封裝、塑料/陶瓷封裝,以及自動(dòng)化晶圓/成品測(cè)試。
簡(jiǎn)易總結(jié):該公司的核心是MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造,工藝上依托微納加工技術(shù)(如光刻、刻蝕、沉積、鍵合)來實(shí)現(xiàn)微型化傳感結(jié)構(gòu),并結(jié)合ASIC完成信號(hào)處理。
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