UCUF用多通道轉換器 SFC-011S/SFC8000/SFC8000S/SFC8500

TOKYO KEISO東京計裝 流量計轉換器 北京

概要在半導體，藥液供給等工藝過程中液體里含有的氣泡常常使流量測量出現(xiàn)問題，本轉換器采用DSP，能夠有效的減輕氣泡的影響。

一臺轉換器最大可同時進行6排液體管線的流量測量，因此有助于節(jié)能和節(jié)省空間。

TOKYO KEISO東京計裝 流量計轉換器 北京

型號                            SFC-011S                               SFC8000                           SFC8000S                                   SFC8500

精度                                                                                   ±1%of R.D.(流速1m/s以上)

低值歸零                                                                                     0 *25% of F.S.

顯示        7 SegLED(赤紅色）4位表示         Power LED:x1            7 SegLED(赤紅色）4位表示        Power LED:x1

瞬時流量(單位：mL/min)            Channel LED: x6       瞬時流量(單位：mL/min)             Channel LED: x6

各種錯誤信息                                                                              各種錯誤信息                                    Channel LED: x6

參數(shù)設定                                          用PC上安裝的Configuration軟件設定                                                  TwinCAT

模擬輸岀                     無                                               無                         DC4-20mA（負載電阻500Q）       無

（額定負載DC30V，10mA以內）

頻率輸出：0*1000Hz

累計輸出：從4種脈沖當量中選擇

脈沖輸出                     無                                               無                         報警輸出：瞬時流量上下限報警      無

斷流感知報警

累計報警

通信功能 RS-485、最大可連接6臺                          RS-485、最大可連接17臺                                           Ether CAT.，最多連接16臺

RS-485（維修調試用>

計算周期            5ms/CH                                       3ms/CH                   3ms/CH                                                 3ms/CH

通信響應    0.5,10,20,30,40,50ms(可選)        13ms                       13ms                                                       13ms

電源     DC24V±10%140mA              DC24V±10%80mA            DC24V士10%300mA                         DC24V±10%100mA

安裝     DIN導軌安裝                                     DIN導軌安裝                  DIN導軌安裝                                         DIN導軌安裝

防護等級                                                                       I P20(室內使用規(guī)格)

規(guī) 格                                                                                適合EMC EN61326

環(huán) 保                                                                                  適合RoHS無鉛法規(guī)

外殼  耐熱ABS樹脂（白）                 阻燃ABS樹脂（灰）             阻燃ABS樹脂（灰)                                阻燃ABS樹脂(黑）

重量      約180g                                                       約150g                     約260g                                                      約180g

SFC8000S由轉換器SFC8000和擴展單元SFC8000E組合而成，如僅需要RS-485輸出，且不需要顯示功能，可以僅選SFC8000。如需要模擬量、脈沖信號輸出，需選擇SFC8000S(SFC8000+SFC8000E的組合)。SFC8500配置EtherCAT通信功能，同時保留了用于維修調試用的RS-485通信功能。

超聲波流量計檢測器UCUF

UCUF系列是適合半導體制程中涂膠顯影、清洗、CMP、藥液供給等設備中，純水、超純水和各種化學藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計，其由UCUF檢測器和SFC轉換器組成。

特點

接液部是PFA材質，沒有可動部件，接液部沒有容易造成液體滯留的部件(如O型圈)，可以滿足高潔凈度的要求。

一不需要前后直管段。

高精度(讀值的1%)。

量程從10mL/min到80L/min都可以對應。

測量原理

原理圖如右圖，采用U型管狀檢測器，液體從入口流入，經過90流入測定管，再經過90從出口流出。測定管的兩端裝有發(fā)送和接受超聲波的壓電傳感器，測量超聲波在液體A一B、B一A間的時間tA、tB。液體靜止時tA=tB，液體流動時，tA由于是順流所以時間短，tB逆流所以時間長，通過tB-tA計算出流速。tA、tB和流量的關系受管路的尺寸、形狀、藥液粘度等因素影響而不同。通過存有大量實驗數(shù)據(jù)的內置線性轉換器，實現(xiàn)高精度的測量。

規(guī)格參數(shù)

測定對象:液體(不含氣泡，不腐蝕PFA材料)流體溫度:10~90C(超過90C請聯(lián)絡)

環(huán)境溫度:060C

流體壓力:0~0.5MPa

音速范圍:1000~2200m/s

流體運動粘度:0.8~40mm2/s

過程連接:PFA管

保護等級:IP65

放置場所:室內

主要用途

半導體制造行業(yè)用的純水、超純水的流量測量。

一各種藥液供給裝置的流量測量。

高腐蝕性液體的流量測量。

CMP Slurry的流量測量。

其他中小口徑液體流量測量。

連接線纜

數(shù)量:2根，In和Out各一根。

長度:標準5米(如需其他長度請聯(lián)絡)。

材質:外皮PVC(如需其他材質請聯(lián)絡)。

接頭:轉換器端，單通道BNC、多通道SMB。

檢測器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。

其他系列不可拆卸。