中級(jí)會(huì)員·3年聯(lián)系電話
在半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)、光伏產(chǎn)業(yè)以及化學(xué)工業(yè)等領(lǐng)域，真空環(huán)境的獲得與維持是生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)油封旋片泵雖應(yīng)用廣泛，但其油蒸氣返流、油霧排放以及定期換油維護(hù)等問題，在對(duì)潔凈度要求的現(xiàn)代制造中日益凸顯。KASHIYAMA（樫山工業(yè)）作為日本的真空設(shè)備制造商，憑借其在干式真空泵領(lǐng)域數(shù)十年的技術(shù)積累，推出了NeoDry36EU干式真空泵。該產(chǎn)品采用無油的設(shè)計(jì)理念，結(jié)合先進(jìn)的螺桿技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高真空、大抽速、無污染、低能耗的性能，成為眾多精密制造行業(yè)的理想選擇。
一、產(chǎn)品介紹
NeoDry36EU是KASHIYAMA NeoDry系列中的一款高性能干式真空泵。NeoDry系列的名稱本身就體現(xiàn)了其核心特征——“Neo"（新）與“Dry"（干式），代表著新一代干式真空技術(shù)。NeoDry36EU專為需要潔凈真空環(huán)境的中等規(guī)模應(yīng)用而設(shè)計(jì)，抽速適中，適用于從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到批量生產(chǎn)的多種場(chǎng)景。
該泵的核心技術(shù)是干式螺桿原理。與傳統(tǒng)油封泵不同，NeoDry36EU的泵腔內(nèi)部不使用任何油或水作為密封和潤滑介質(zhì)。它采用一對(duì)經(jīng)過精密加工的螺桿轉(zhuǎn)子，在泵腔內(nèi)以相反方向高速旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持微米級(jí)的間隙而不直接接觸，依靠這種非接觸式的精密配合實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出。由于沒有摩擦接觸，泵腔內(nèi)無需潤滑油，因此被抽氣體在流經(jīng)泵腔的過程中不會(huì)接觸任何碳?xì)浠衔?，從源頭上杜絕了油蒸氣的產(chǎn)生。
從外觀結(jié)構(gòu)來看，NeoDry36EU體現(xiàn)了工業(yè)設(shè)備應(yīng)有的扎實(shí)與緊湊。它采用一體化鑄造成型的泵體，結(jié)構(gòu)剛性好，熱穩(wěn)定性佳。電機(jī)與泵體直連設(shè)計(jì)，取消了聯(lián)軸器，提高了傳動(dòng)效率并減少了維護(hù)點(diǎn)。整機(jī)體積小巧，占地面積小，方便集成到各種設(shè)備中。泵體表面經(jīng)過特殊涂層處理，具有良好的耐腐蝕性，能夠應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體和化學(xué)工業(yè)中常見的腐蝕性氣體。進(jìn)氣口和排氣口均采用標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，方便與真空管路連接。此外，NeoDry36EU還配備了集成式的排氣消音器和氣鎮(zhèn)閥，消音器有效降低了排氣噪音，氣鎮(zhèn)閥則允許在抽除少量可凝性蒸氣（如水蒸氣）時(shí)引入干燥氣體，防止蒸氣在泵腔內(nèi)凝結(jié)。
NeoDry36EU的另一大技術(shù)亮點(diǎn)是其智能化的控制系統(tǒng)。內(nèi)置的變頻驅(qū)動(dòng)技術(shù)使得泵的轉(zhuǎn)速可以根據(jù)實(shí)際真空需求自動(dòng)調(diào)節(jié)。在需要大抽速的粗抽階段，泵全速運(yùn)轉(zhuǎn)，快速將腔體從大氣壓抽至預(yù)定真空度；當(dāng)接近目標(biāo)真空度或進(jìn)入保壓階段時(shí)，泵自動(dòng)降低轉(zhuǎn)速，以維持真空并大幅降低能耗和噪音。這種按需運(yùn)行的模式不僅節(jié)能環(huán)保，還減少了泵的機(jī)械磨損，延長了使用壽命。同時(shí)，泵內(nèi)置了溫度傳感器和壓力傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，當(dāng)出現(xiàn)過熱、過載或異常壓力時(shí)自動(dòng)報(bào)警或停機(jī)保護(hù)。
在冷卻方式上，NeoDry36EU采用風(fēng)冷設(shè)計(jì)。泵體集成了高效散熱片和冷卻風(fēng)扇，利用環(huán)境空氣進(jìn)行冷卻，無需外接冷卻水。這大大簡(jiǎn)化了安裝要求，用戶只需接入電源和排氣管路即可投入使用，特別適合現(xiàn)場(chǎng)沒有循環(huán)冷卻水條件的場(chǎng)合。對(duì)于在高溫環(huán)境或處理工藝氣體較熱的應(yīng)用，也可選配水冷版本以獲得更佳的熱穩(wěn)定性。
二、技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)品型號(hào) | NeoDry36EU |
| 品牌 | KASHIYAMA（樫山工業(yè)） |
| 泵類型 | 干式螺桿真空泵（無油） |
| 抽速（50/60Hz） | 36 / 43 m3/h（約600 / 720 L/min） |
| 極限壓力（關(guān)閉氣鎮(zhèn)） | ≤ 0.5 Pa（絕對(duì)壓力） |
| 極限壓力（開啟氣鎮(zhèn)） | ≤ 5 Pa（絕對(duì)壓力） |
| 最大排氣壓力 | 大氣壓（直排） |
| 進(jìn)氣口口徑 | KF25 / KF40（ISO標(biāo)準(zhǔn)） |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 電機(jī)功率 | 約 1.5 kW |
| 供電電壓 | 三相 AC 200 ~ 240V，50/60Hz（EU型號(hào)適配歐洲標(biāo)準(zhǔn)） |
| 額定電流 | 約 6.5 A（依電壓而定） |
| 轉(zhuǎn)速（變頻控制） | 1800 ~ 3600 rpm（可調(diào)） |
| 啟動(dòng)方式 | 變頻軟啟動(dòng) |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷（標(biāo)準(zhǔn)）；可選水冷 |
| 冷卻風(fēng)量 | 約 200 m3/h |
| 冷卻水流量（水冷型） | 約 3 ~ 5 L/min |
| 冷卻水溫度（水冷型） | 5℃ ~ 30℃ |
| 氣鎮(zhèn)接口 | 預(yù)留（可接入干燥氮?dú)饣蚩諝猓?/span> |
| 氣鎮(zhèn)流量（推薦） | 10 ~ 30 L/min |
| 噪音水平（1米處） | ≤ 65 dB(A)（全速運(yùn)行時(shí)） |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ~ 40℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | 20% ~ 80% RH（無結(jié)露） |
| 適用氣體 | 空氣、惰性氣體、半導(dǎo)體工藝氣體（需確認(rèn)兼容性） |
| 最大允許含水率 | 無結(jié)露（可開啟氣鎮(zhèn)處理少量蒸氣） |
| 最大允許顆粒物 | 需在進(jìn)氣口加裝過濾器（建議 ≤ 5μm） |
| 防護(hù)等級(jí) | IP54 |
| 防爆等級(jí) | 不適用（非防爆設(shè)計(jì)） |
| 外形尺寸（寬×深×高） | 約 350 × 500 × 350 mm |
| 重量 | 約 60 kg |
| 維護(hù)周期 | 約 20000 小時(shí)（軸承更換） |
| 日常維護(hù) | 無需換油，僅需清潔進(jìn)氣過濾器 |
| 接口標(biāo)準(zhǔn) | 符合ISO/KF法蘭標(biāo)準(zhǔn) |
| 符合指令 | CE認(rèn)證 |
| 可選配件 | 進(jìn)氣過濾器、消音器、排氣冷凝器、水冷套件 |
| 適用行業(yè) | 半導(dǎo)體、FPD、光伏、真空鍍膜、真空干燥、檢漏設(shè)備 |
三、用途與典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造
這是NeoDry36EU最為核心的應(yīng)用領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制程中，真空環(huán)境貫穿于多個(gè)關(guān)鍵工藝。在刻蝕工藝中，反應(yīng)腔需要在低壓下通入刻蝕氣體并產(chǎn)生等離子體，NeoDry36EU用于提供和維持刻蝕腔體所需的真空度，同時(shí)抽除反應(yīng)副產(chǎn)物。由于刻蝕氣體中常含有氯氣、氟化物等腐蝕性成分，泵的耐腐蝕涂層和無油設(shè)計(jì)確保其能夠長期穩(wěn)定運(yùn)行而不被腐蝕或污染。在化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積中，薄膜沉積過程需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，NeoDry36EU作為前級(jí)泵與渦輪分子泵配合使用，提供必要的預(yù)備真空。其潔凈特性避免了油蒸氣對(duì)薄膜純度和附著力的負(fù)面影響。在離子注入中，同樣需要潔凈真空來保證離子束的傳輸效率和質(zhì)量。
2. 液晶面板與平板顯示器制造
在TFT-LCD和OLED面板的生產(chǎn)過程中，真空系統(tǒng)用于多個(gè)成膜和刻蝕工序。NeoDry36EU可用于Array段的PECVD、濺射和刻蝕設(shè)備，以及Cell段的液晶滴注和封裝設(shè)備。面板制造中使用的腔體體積大，需要大抽速的真空泵來縮短抽空時(shí)間，NeoDry36EU的抽速能夠滿足中等尺寸面板產(chǎn)線的需求。其干式設(shè)計(jì)避免了油污染對(duì)顯示面板像素缺陷的影響。
3. 太陽能光伏產(chǎn)業(yè)
在晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn)中，真空技術(shù)被用于PECVD鍍減反射膜、PVD鍍電極以及刻蝕邊緣等工序。NeoDry36EU為這些工藝設(shè)備提供清潔、穩(wěn)定的真空環(huán)境。在硅基薄膜電池生產(chǎn)中，真空系統(tǒng)需要長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行，NeoDry36EU的節(jié)能變頻設(shè)計(jì)和高可靠性非常契合這一需求。
4. 真空鍍膜與表面處理
在工具鍍膜、裝飾鍍膜以及光學(xué)鍍膜等真空鍍膜領(lǐng)域，NeoDry36EU作為輔助泵或主泵使用。對(duì)于需要快速抽空的中小型鍍膜機(jī)，它可以獨(dú)立完成從大氣到工作真空的抽氣過程。其無油特性保證了鍍膜室內(nèi)不會(huì)因油蒸氣而導(dǎo)致膜層附著力下降或出現(xiàn)針孔缺陷。在真空熱處理爐和釬焊爐中，用于抽除爐內(nèi)氣氛，防止金屬在高溫下氧化。
5. 真空干燥與脫氣
在鋰離子電池生產(chǎn)中，電芯在注液前需要在真空環(huán)境下進(jìn)行高溫干燥，以去除極片和隔膜中的水分。NeoDry36EU可用于電池真空干燥爐的抽空系統(tǒng)，其氣鎮(zhèn)閥功能可以有效處理干燥過程中蒸發(fā)出來的水蒸氣，防止其在泵腔內(nèi)凝結(jié)導(dǎo)致故障。在變壓器和電力電容器的真空注油工藝中，用于對(duì)器身進(jìn)行真空脫氣和干燥。
6. 分析儀器與檢漏設(shè)備
在氦質(zhì)譜檢漏儀、殘余氣體分析儀等分析儀器中，NeoDry36EU可作為前級(jí)真空泵使用。其潔凈的真空環(huán)境避免了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室和分析結(jié)果的污染，保證了檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性。在大科學(xué)裝置和加速器領(lǐng)域，干式真空泵同樣是獲得超高真級(jí)條件的標(biāo)準(zhǔn)配置。
7. 實(shí)驗(yàn)室與研發(fā)
在大學(xué)和研究所的材料科學(xué)、表面物理、納米技術(shù)等實(shí)驗(yàn)室中，NeoDry36EU是為各類真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)（如分子束外延、掃描隧道顯微鏡、表面分析系統(tǒng)）提供潔凈真空的理想選擇。其低噪音、免維護(hù)的特點(diǎn)非常適合對(duì)噪音和潔凈度有要求的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
四、總結(jié)
KASHIYAMA真空泵NeoDry36EU，以其無油的干式螺桿技術(shù)、智能變頻控制、緊湊堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)以及節(jié)能環(huán)保的特性，在半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、真空鍍膜、真空干燥以及分析儀器等眾多制造和科研領(lǐng)域展現(xiàn)出了的性能。它將真空技術(shù)從傳統(tǒng)的“油潤滑時(shí)代"帶入了“干式潔凈時(shí)代"，為對(duì)清潔真空有著嚴(yán)苛要求的現(xiàn)代工業(yè)提供了一種可靠、高效、低維護(hù)的解決方案。選擇NeoDry36EU，意味著您選擇了潔凈無油的真空環(huán)境、長期穩(wěn)定的運(yùn)行可靠性、顯著降低的維護(hù)成本以及對(duì)節(jié)能減排理念的切實(shí)踐行。它以每一次無聲的抽氣，為精密制造和前沿科學(xué)研究構(gòu)筑起堅(jiān)實(shí)而純凈的真空基礎(chǔ)。
