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在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器以及各類科學(xué)實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域，“真空"是一種看不見摸不著卻至關(guān)重要的環(huán)境條件。而要準(zhǔn)確地測量真空度的高低，就必須依靠可靠的真空測量儀器。OKANO AVG-300C11 真空計(jì)，正是這樣一款為工業(yè)與科研用戶設(shè)計(jì)的真空度監(jiān)測儀表。它以寬量程覆蓋、高穩(wěn)定性、模擬輸出及設(shè)定點(diǎn)控制等特性，幫助使用者隨時掌握真空系統(tǒng)的狀態(tài)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、真空爐、鍍膜機(jī)、分析儀器及各類真空應(yīng)用系統(tǒng)。
一、產(chǎn)品概述與品牌背景
OKANO 是日本的真空測量與控制技術(shù)品牌，長期專注于真空計(jì)、真空開關(guān)及相關(guān)真空配件的研發(fā)與制造。其產(chǎn)品以高可靠性、良好的環(huán)境適應(yīng)性以及長期穩(wěn)定性而著稱，深受半導(dǎo)體及真空設(shè)備制造商的信賴。
AVG-300C11 屬于 OKANO 真空計(jì)產(chǎn)品線中的一款通用型數(shù)字式真空計(jì)。它采用皮拉尼（Pirani）或熱電偶式測量原理（具體依內(nèi)部配置而定），適用于從大氣壓到中高真空范圍的寬區(qū)間測量。型號中的“300"指示系列代號，“C11"代表特定的傳感器配置、輸出接口及安裝規(guī)格。該真空計(jì)的定位非常明確：為各類需要實(shí)時監(jiān)測真空度的設(shè)備提供一種易于集成、讀數(shù)直觀、性能可靠的真空測量解決方案，既可獨(dú)立顯示，也可將測量信號遠(yuǎn)傳給 PLC 或上位機(jī)參與自動化控制。
二、技術(shù)參數(shù)
以下為 AVG-300C11 的主要技術(shù)規(guī)格：
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 測量原理 | 皮拉尼（Pirani）電阻式 / 熱電偶式（依配置） |
| 測量范圍 | 1.0×10? ～ 1.0×10?1 Pa（大氣壓至 0.1 Pa） （部分配置可至 1.0×10?2 Pa） |
| 顯示方式 | LED 數(shù)碼管（3? 位或 4 位），科學(xué)計(jì)數(shù)法或直讀 |
| 顯示單位 | Pa、Torr、mbar 一鍵切換 |
| 精度 | ±15% 以內(nèi)（典型值，在 1～10? Pa 范圍內(nèi)） |
| 響應(yīng)時間 | 約 30ms（快速響應(yīng)型） |
| 模擬輸出 | 0-10V DC 或 4-20mA（對數(shù)輸出，對應(yīng)測量范圍） |
| 設(shè)定點(diǎn)輸出 | 1 點(diǎn)或 2 點(diǎn)（視型號），繼電器觸點(diǎn)：30V DC / 1A（或 250V AC / 1A） 可設(shè)置上限或下限報(bào)警 |
| 傳感器類型 | 可更換式規(guī)管（Pirani 傳感器單元） |
| 傳感器連接 | 專用電纜（長度可選，通常 2-5 米） |
| 真空連接法蘭 | 1/8″ NPT、1/4″ NPT、NW16、KF16、VF25 等（依 C11 具體配置） |
| 電源 | 100-240V AC，50/60Hz（主機(jī)內(nèi)置開關(guān)電源） |
| 功耗 | 約 15VA（最大） |
| 使用環(huán)境 | 溫度：0-50℃ 濕度：20-85%RH（無結(jié)露） |
| 外形尺寸 | 約 96×96×130 mm（面板開孔：92×92 mm，符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn)） |
| 重量 | 約 0.8 kg（主機(jī)） |
| 防護(hù)等級 | 前面板 IP54（防塵防濺） |
| 可選功能 | RS-232C / RS-485 通信（Modbus 協(xié)議）、數(shù)據(jù)記錄、第二設(shè)定點(diǎn) |
三、核心功能特性
寬量程覆蓋，一表多用：從大氣壓（1.0×10? Pa）到 0.1 Pa（甚至更低），AVG-300C11 能夠在 5-6 個數(shù)量級的范圍內(nèi)提供連續(xù)的真空度讀數(shù)。這意味著使用者無需為不同的真空階段（粗抽、預(yù)抽、高真級）更換不同的測量儀表，一臺儀器即可覆蓋完整的抽氣過程，簡化了系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作。
清晰直觀的數(shù)字顯示：儀器配備高亮度的 LED 數(shù)碼顯示屏，能夠以科學(xué)計(jì)數(shù)法直接顯示當(dāng)前真空度數(shù)值（如“1.2E-1"代表 0.12 Pa）。相比于傳統(tǒng)的指針式真空表，數(shù)字顯示消除了讀數(shù)視差，結(jié)果更加準(zhǔn)確直觀。
多種單位一鍵切換：真空度單位在不同國家、不同行業(yè)有所差異，常見的有帕斯卡（Pa）、托（Torr）、毫巴（mbar）等。AVG-300C11 支持一鍵切換，用戶可根據(jù)使用習(xí)慣或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)選擇合適的單位，無需繁瑣換算。
模擬輸出與遠(yuǎn)程監(jiān)控：為適應(yīng)自動化系統(tǒng)需求，AVG-300C11 配備有模擬量輸出接口（0-10V 或 4-20mA），該輸出信號與當(dāng)前真空度成對數(shù)關(guān)系，可實(shí)時傳送給 PLC、數(shù)據(jù)采集卡或記錄儀，使真空計(jì)成為自動化控制系統(tǒng)中的“感知器官"。
設(shè)定點(diǎn)輸出與報(bào)警控制：AVG-300C11 內(nèi)部可設(shè)置一個或兩個真空度設(shè)定點(diǎn)（閾值）。當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值時，儀器通過繼電器輸出開關(guān)量信號，實(shí)現(xiàn)以下功能：
真空度達(dá)標(biāo)后自動開啟高真空閥門或啟動分子泵
真空度低于下（漏氣或泵故障）觸發(fā)聲光報(bào)警或切斷加熱電源
真空聯(lián)鎖保護(hù)，防止設(shè)備在真空度不足時誤操作
傳感器可互換性與耐污染設(shè)計(jì)：測量核心傳感器（規(guī)管）設(shè)計(jì)為可更換結(jié)構(gòu)，且具有一定的耐污染能力。當(dāng)長期使用被工藝氣體污染時，可方便地更換新規(guī)管，無需更換主機(jī)，降低維護(hù)成本。傳感器電纜長度也可根據(jù)安裝距離定制。
操作簡便，一鍵校準(zhǔn)：在大氣環(huán)境下，按下“零點(diǎn)校準(zhǔn)"或“大氣調(diào)零"按鈕即可完成校準(zhǔn)，無需復(fù)雜菜單操作，便于現(xiàn)場快速調(diào)試。
四、主要用途與應(yīng)用場景
OKANO AVG-300C11 真空計(jì)憑借其寬量程、穩(wěn)定可靠、易于集成的特性，在眾多需要真空環(huán)境的行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用：
半導(dǎo)體與電子器件制造：在物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子刻蝕、離子注入等工藝中，AVG-300C11 常用于設(shè)備的前級真空測量（從大氣到低真空階段），監(jiān)測粗抽泵和預(yù)抽泵的工作狀態(tài)，確保工藝腔體在達(dá)到高真滿足預(yù)抽條件。
真空鍍膜設(shè)備：無論是裝飾性鍍膜（表殼、手機(jī)殼的 PVD 鍍膜）、功能性鍍膜（光學(xué)鏡頭增透膜、汽車大燈反射膜），還是保護(hù)性鍍膜（刀具涂層），都需要在真空腔體內(nèi)完成。AVG-300C11 安裝在鍍膜機(jī)的旁抽管路或工藝腔體上，實(shí)時顯示真空度變化，幫助操作者判斷抽氣速度、檢漏以及確定鍍膜開始時機(jī)。
真空熱處理與釬焊爐：金屬材料的真空退火、真空淬火、真空釬焊等工藝要求爐內(nèi)保持較高真空度以防止氧化。AVG-300C11 用于監(jiān)測前級真空度，配合高真空計(jì)（如電離真空計(jì)）共同完成全量程測量。其設(shè)定點(diǎn)輸出可用于控制加熱元件通電——只有當(dāng)真空度達(dá)到安全值后才允許啟動加熱。
分析儀器與實(shí)驗(yàn)室設(shè)備：掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、X 射線光電子能譜儀（XPS）、質(zhì)譜儀（MS）等分析儀器，其電子光學(xué)系統(tǒng)必須在高真空下工作。AVG-300C11 常用于這些儀器的樣品預(yù)抽室或前級管道的真空測量，確保在打開樣品室之前預(yù)抽室真空度已達(dá)標(biāo)，避免大氣污染主腔體。
真空包裝與食品機(jī)械：真空包裝機(jī)需要將包裝袋內(nèi)空氣抽出以達(dá)到防腐保鮮效果。AVG-300C11 可用于監(jiān)測真空腔內(nèi)的壓力變化，當(dāng)達(dá)到設(shè)定真空度后控制封口裝置動作。其寬量程和快速響應(yīng)特性適合包裝機(jī)快速循環(huán)的工作模式。
科研實(shí)驗(yàn)與教學(xué)演示：在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室中，經(jīng)常需要搭建各種真空系統(tǒng)（濺射臺、蒸發(fā)臺、真空干燥箱、手套箱過渡艙）。AVG-300C11 操作簡便、讀數(shù)直觀、價格適中，成為許多實(shí)驗(yàn)室的真空測量儀表。
空調(diào)與制冷行業(yè)：空調(diào)、冰箱、熱泵等產(chǎn)品的生產(chǎn)和維修過程中，需要對管路系統(tǒng)抽真空以去除水分和不凝性氣體。AVG-300C11 可用于監(jiān)測抽真空的深度，確保系統(tǒng)真空度達(dá)標(biāo)后再充注制冷劑，避免冰堵和腐蝕問題。
五、使用注意事項(xiàng)
傳感器匹配：使用前確保規(guī)管型號與主機(jī)匹配，并在參數(shù)中正確設(shè)置傳感器類型。
污染防護(hù)：避免油蒸汽、粉塵、可凝性氣體直接進(jìn)入規(guī)管，必要時在規(guī)管前加裝冷阱或過濾器。
校準(zhǔn)周期：建議每 6-12 個月進(jìn)行一次校準(zhǔn)，特別是用于工藝控制的場合。
安裝位置：規(guī)管應(yīng)安裝在真空系統(tǒng)的適當(dāng)位置，避免靠近氣源入口或放氣閥，以獲得代表性讀數(shù)。
電纜長度：傳感器電纜不宜過長（一般不超過 10 米），過長可能引入噪聲或信號衰減。
六、總結(jié)
OKANO AVG-300C11 真空計(jì)是一臺專業(yè)、可靠、易用的真空度測量工具。它不追求的測量下限，但恰好滿足了從大氣壓到中高真空范圍內(nèi)絕大多數(shù)工業(yè)與科研應(yīng)用的日常需求——寬量程、直觀顯示、模擬輸出、設(shè)定點(diǎn)控制，功能齊全而不冗余。無論是半導(dǎo)體設(shè)備、鍍膜機(jī)、分析儀器，還是實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)，AVG-300C11 都是一個值得信賴的選擇，為各類真空工藝提供精準(zhǔn)的“視覺"保障。
